產(chǎn)品摘要: GTK150擴散泵高真空機組系統(tǒng)是由VRD-16前級機械泵、擴散泵、高真空閥、前級管路，冷凝器、高真空檢測系統(tǒng)（復(fù)合真空計）等組裝于機架上而成的清潔超高真空獲得設(shè)備。該機組的真空度可達到5X10-3 Pa，安裝方便，操作簡單，易于連接，性能可靠，可廣泛用于表面分析、釬焊、真空熱處理、真空熔煉、加速器技術(shù)、半導(dǎo)體設(shè)備、等離子體技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)領(lǐng)域。

詳細介紹

產(chǎn)品描述

GTK150擴散泵高真空機組系統(tǒng)是由VRD-16前級機械泵、擴散泵、高真空閥、前級管路，冷凝器、高真空檢測系統(tǒng)（復(fù)合真空計）等組裝于機架上而成的清潔超高真空獲得設(shè)備。該機組的真空度可達到5X10^-3Pa(即0.005Pa)，安裝方便，操作簡單，易于連接，性能可靠，可廣泛用于表面分析、釬焊、真空熱處理、真空熔煉、加速器技術(shù)、半導(dǎo)體設(shè)備、等離子體技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。

一、機組技術(shù)參數(shù)

1、機組輸入電壓：220V/380V

2、波紋管：KF40*1000mm

3、真空擋板閥：KF40

4、機箱尺寸：600*600*600mm

二、擴散泵技術(shù)參數(shù)

擴散泵	擴散泵型號	TK150
	入口直徑	150mm
	抽氣速率L/S（對空氣）	1000L
	建議啟動壓強	＜10 Pa
	極限壓強（Pa）	7×10^-5
	排氣口法蘭	KF40
	功率	1.2KW
	輸入電壓頻率（V/Hz）	220V
	環(huán)境溫度（℃）	0～40
	前級泵型號	FX-16
	冷卻方式	水冷
	冷卻水溫度（℃）	<25
	安裝方式	垂直
	注油量	0.3L
	重量（公斤）	40
	產(chǎn)品型號	FFX-16

三、真空泵參數(shù)

擴散泵泵前級真空泵FFX-16 (擴散泵必須要配此前級泵)	功率	0.75KW
	電壓	380V
	轉(zhuǎn)速	1450rpm
	進氣口徑	KF25/KF40
	前機泵抽氣速率（L/S）	4
	極限壓強	4X10^-2Pa

四、復(fù)合真空計技術(shù)參數(shù)

復(fù)合真空計	復(fù)合真空計型號	ZDF
	電源	220V 55W
	控制精度	± 1%
	真空計測量范圍	10^-5 -10⁵ Pa

ZDF型系列電阻/電離復(fù)合真空計是基于低真空測量電阻單元(ZJ-52T電阻規(guī))與高真空測量電離單元(ZJ-10電離規(guī))技術(shù)組合，以完成1×10⁵~1×10^-4Pa連續(xù)測量與控制。因此該真空計系列具有電阻真空計與電離真空計所有技術(shù)參數(shù)與性能特點。該真空計系列具有兩種工作模式：手動模式與自動模式。手動模式工作時，相當于獨立的電阻真空計和電離真空計；自動模式工作時，首先電阻單元進入測量，當電阻單元測量真空度高于電離規(guī)可以開啟的真空度時，電離規(guī)燈絲自動被點亮(開啟)，并進入高真空測量，實現(xiàn)了從大氣壓(常壓)到高真空的自動連續(xù)測量。還增加了外設(shè)(PLC)開閉電離規(guī)功能，以實現(xiàn)電離規(guī)工作于真空環(huán)境，以延長電離規(guī)工作壽命。

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