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蘇州紐銘科學(xué)儀器有限公司
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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)集優(yōu)異性能、操作簡(jiǎn)便性、多樣化功能于一身日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU390
集優(yōu)異性能、操作簡(jiǎn)便性、多樣化功能于一身
日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。
■樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品
■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
■一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI
■各種自動(dòng)化功能
■Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
■可滿足多種觀察需求的探測(cè)器
■配備了多功能超大樣品倉(cāng)，可以搭載多種配件
■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測(cè)量軟件Image pro
*配件
*配件
*配件
搭載了簡(jiǎn)約UI，簡(jiǎn)單操作，如同觸屏般直觀。
Multi Zigzag可以自動(dòng)獲取連續(xù)的視野。可以在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像，并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像，創(chuàng)建大視野圖像。
*配件
通過(guò)采用4分割+1單元的設(shè)計(jì)，對(duì)每個(gè)單元進(jìn)行計(jì)算，無(wú)需傾斜樣品，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測(cè)器的設(shè)計(jì)十分精巧，且靈敏度高，實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高信噪比。
SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。
SU3800/SU3900全新研發(fā)的SEM/EDS一體化功能，通過(guò)SEM操作界面即可完成測(cè)試位置確定、條件設(shè)置、樣品分析以及生成報(bào)告等一系列操作。通過(guò)SEM的全面控制，可以提高測(cè)試效率，減輕了操作人員的負(fù)擔(dān)。
Hitachi Map 3D可對(duì)SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測(cè)器當(dāng)中的4個(gè)不同方向的SEM信號(hào)進(jìn)行演算分析，生成三維圖像。支持2點(diǎn)間高度、體積和簡(jiǎn)易表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）測(cè)量?？梢淮涡越邮账膫€(gè)不同方向的信號(hào)，因此，無(wú)需傾斜樣品臺(tái)或合成圖像。
SU3800 / SU3900搭載了IPI，可以將SEM圖像傳輸?shù)接擅绹?guó)Media Cybernetics公司開(kāi)發(fā)的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下，即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測(cè)量軟件。
顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗 色區(qū)域是對(duì)應(yīng)于錯(cuò)濃度較高的區(qū)域。
| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
|---|---|---|---|
| 二級(jí)電子分解能 | 3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射電子分解能 | 4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2） | |||
| 加速電壓 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度設(shè)定 | 6～650 Pa | ||
| 圖像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| 樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
| 樣品臺(tái) | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°連續(xù) | ||
| T | －20°～+90° | ||
| 可觀察范圍 | 130mm直徑（R并用） | 200mm直徑（R并用） | |
| 可觀察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 電機(jī)驅(qū)動(dòng) | 5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng) | ||
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲電子槍 | |
| 物像鏡頭光圈 | 4孔可動(dòng)光圈 | ||
| 檢測(cè)系統(tǒng) | 二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 圖像顯示 | 自動(dòng)光軸調(diào)整功能 | 自動(dòng)光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自動(dòng)光軸調(diào)整（實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊） | |||
| 自動(dòng)調(diào)整光束亮度 | |||
| 自動(dòng)圖像調(diào)整功能 | 自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制（ABCC） | ||
| 自動(dòng)對(duì)焦控制（AFC） | |||
| 自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF） | |||
| 自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整（AFS） | |||
| 自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)（ABA） | |||
| 自動(dòng)啟動(dòng)（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作輔助功能 | 電子束旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能 | ||
| 配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器（UVD）、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部裝置） | 能量散射X射線分析儀（EDS）、波長(zhǎng)色散X射線分析儀（WDS）、 各種外部功能臺(tái)（加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái)） | ||
*1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。
*2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。
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