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蘇州紐銘科學(xué)儀器有限公司
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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像，而且還可以同時(shí)接收多種信號(hào)。此外，它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多優(yōu)異性能。SU7000是一臺(tái)實(shí)現(xiàn)了獲取大量信息的新型掃描電鏡，可以滿足客戶的多種觀察需求。
SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像，而且還可以同時(shí)接收多種信號(hào)。此外，它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多優(yōu)異性能。
SU7000是一臺(tái)實(shí)現(xiàn)了獲取大量信息的新型掃描電鏡，可以滿足客戶的多種觀察需求。
*主圖為包含選配項(xiàng)的SU7000示意圖
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào)，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。
隨著用戶對(duì)成像需求的不斷增長(zhǎng)，SU7000特新增了幾種探測(cè)器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的。
等所需的樣品倉(cāng)和真空系統(tǒng)都十分完備，觀察方法也是。
采用肖特基發(fā)射電子槍，束流可達(dá)到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉(cāng)形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求。
隨著用戶對(duì)樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化，對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)在短時(shí)間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測(cè)系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實(shí)現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集。
樣品：包裹有機(jī)物的金屬棒
樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda
通過UD、MD、LD探測(cè)器同時(shí)采集信號(hào)的應(yīng)用實(shí)例 （加速電壓：1 kV）
通過UD、MD、LD探測(cè)器可以同時(shí)采集信號(hào)，UD可獲取表面微細(xì)形狀信息，MD可獲取表面有機(jī)物包覆狀態(tài)信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個(gè)條件下，實(shí)現(xiàn)了獲取信息的。
成像單元在信號(hào)顯示上也作了全新升級(jí)。
使用單屏?xí)r，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機(jī)圖像、樣品臺(tái)圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動(dòng)、添加和刪除。
1st顯示屏專門用來(lái)顯示圖像，2nd顯示屏用來(lái)顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個(gè)探測(cè)器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個(gè)畫面中顯示，界面布局清晰明了。在實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控圖像的同時(shí)，操作性能也得到了進(jìn)一步提升。
樣品倉(cāng)外觀
標(biāo)配18個(gè)附件接口
馬達(dá)臺(tái)外觀
XY軸可移動(dòng)距離為135×100 mm
樣品倉(cāng)可搭載直徑為φ 200 mm；80 mm的樣品。大開倉(cāng)設(shè)計(jì)，標(biāo)配18個(gè)附件接口。樣品臺(tái)可搭載XY軸移動(dòng)距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺(tái)不成問題。
通過相機(jī)拍攝樣品
將相機(jī)拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進(jìn)行導(dǎo)航
SU7000可選配導(dǎo)航相機(jī)(*)，迅速鎖定要觀察的位置。相機(jī)安裝在樣品倉(cāng)內(nèi)，插入樣品后，可半自動(dòng)拍攝樣品的整體圖像。該圖像會(huì)被顯示到導(dǎo)航畫面（SEM MAP）窗口，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。適用尺寸為φ 100 mm。
(*)可選配相機(jī)。
SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀察。低真空觀察時(shí)，可以選用PD-BSED（背散射電子探測(cè)器）、UVD、MD等各種探測(cè)器(**)。
左圖為通過MD（背散射電子），右圖為通過UVD（二次電子）探測(cè)器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。
左圖是以一般的響應(yīng)速度，約每?jī)擅霋呙枰淮蔚玫降膱D像；右圖整體的畫質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高，更適用于In-Situ觀察。
(**)可選配PD-BSED、UVD。
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | ||
|---|---|---|---|
| 圖像分辨率 | 二次電子分辨率 | 0.8 nm/15 kV | |
| 0.9 nm/1 kV | |||
| 放大倍率 | 20～2,000,000 x | ||
| 電子槍 | 發(fā)射體 | ZrO/W熱場(chǎng)發(fā)射（肖特基熱場(chǎng)發(fā)射） | |
| 加速電壓 | 0.1～30 kV （步進(jìn)：0.01 kV） | ||
| 束流 | 200 nA | ||
| 探測(cè)器 | 標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 | UD （上探測(cè)器) | |
| MD （中探測(cè)器） | |||
| LD （下探測(cè)器) | |||
| 選配探測(cè)器*1 | PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器） | ||
| UVD（高靈敏度低真空探測(cè)器 ） | |||
| 低真空模式*1 | 樣品倉(cāng)壓力范圍 | 5～300 Pa | |
| 可使用探測(cè)器 | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD | ||
| 馬達(dá)臺(tái) | 馬達(dá)臺(tái)控制 | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | |
| 移動(dòng)范圍 | X | 0～135 mm | |
| Y | 0～100 mm | ||
| Z（WD） | 1.5～40 mm | ||
| T（傾斜角） | -5～70° | ||
| R（旋轉(zhuǎn)角） | 360° | ||
| 樣品尺寸 | 直徑：φ200 mm, 高度：80 mm | ||
| 顯示器*1 | 23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏 | ||
| 圖像顯示模式 | 全屏顯示模式 | 1,280×960像素顯示 | |
| 單屏顯示模式 | 800×600像素顯示 | ||
| 雙屏顯示模式 | 800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2 | ||
| 四屏顯示模式 | 640×480像素顯示 | ||
| 六屏顯示模式*2 | 640×480像素顯示 *2 | ||
| 圖像數(shù)據(jù)保存 | 保存圖像尺寸 | 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 | |
| 選配附件 | 能譜儀（EDX） | ||
| X射線波譜儀（WDX） | |||
| 電子背散射衍射（EBSD） | |||
| 陰極熒光探測(cè)器（CL) | |||
| 冷凍傳輸系統(tǒng) | |||
| 各種功能樣品臺(tái) | |||
*1為選配項(xiàng)。
*2支持雙屏顯示。
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