半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)對(duì)水質(zhì)要求非常嚴(yán)格，半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備采用*制水技術(shù)，保證設(shè)備出水水質(zhì)符合行業(yè)用水需求。
一、半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備工藝 ：預(yù)處理→UF 系統(tǒng)→一級(jí)反滲透→PH 調(diào)節(jié)→級(jí)間水箱→二級(jí)反滲透→中間水箱→中間水泵→ 紫外線殺菌器→微孔過(guò)濾器→EDI 裝置→氮封水箱→增壓水泵→拋光混床→循環(huán)增壓泵→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM) 半導(dǎo)體的生產(chǎn)過(guò)程中，涉及到的用水有生產(chǎn)用水和清洗用水。它的用水要求必須是超純 水，因?yàn)橹挥谐兯拍芊纤|(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)，因此半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備起到重要作用，已經(jīng)得到廣泛認(rèn)可。
二、半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備工藝流程： 原水箱→原水泵→全自動(dòng)多介質(zhì)過(guò)濾器→全自動(dòng)活性炭過(guò)濾器→還原劑加藥裝置→全自 動(dòng)軟化過(guò)濾器→保安過(guò)濾器→一級(jí)高壓泵→一級(jí)反滲透系統(tǒng)→一級(jí)RO水箱→PH調(diào)節(jié)裝置→ 二級(jí)高壓泵→二級(jí)反滲透系統(tǒng)→二級(jí) RO 純水箱→EDI 增壓泵→UV 殺菌器→脫氣膜→精密過(guò)濾器 →EDI 裝置→EDI 純水箱→純水泵→拋光混床→0.22u 膜過(guò)濾器→生產(chǎn)線用水點(diǎn)
三、半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備工作原理： 超純水裝置供給原水進(jìn)入 EDI 系統(tǒng)，主要部分流入樹(shù)脂/膜內(nèi)部，而另一部分沿膜板外 側(cè)流動(dòng)，以洗去透出膜外的離子，樹(shù)脂截留水中的容存離子，被截留的離子在電極作用下， 陰離子向正極方向運(yùn)動(dòng)，陽(yáng)離子向負(fù)極方向運(yùn)動(dòng)，陽(yáng)離子透過(guò)陽(yáng)離子膜，排出樹(shù)脂/膜之外， 陰離子透過(guò)陰離子膜，排出樹(shù)脂/膜之外，濃縮了的離子從廢水流路中排出，無(wú)離子水從樹(shù)脂 /膜內(nèi)流出。
四、半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水備工藝
1、預(yù)處理-反滲透-水箱-陽(yáng)床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精
密過(guò)濾器-用水對(duì)象
2、預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)(PH 調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透-純化水箱-純水泵-紫外
線殺菌器-0.2 或 0.5μm 精密過(guò)濾器-用水對(duì)象
3、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI 裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2 或 0.5μm
精密過(guò)濾器-用水對(duì)象
4、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI 裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制拋光混床
-TOC 分解器-0.2 或 0.5μm 精密過(guò)濾器-用水對(duì)象(新工藝)
五、半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水備特點(diǎn)
1、選用高性能離子交換樹(shù)脂，工作交換容量大，能耗低，使用壽命長(zhǎng)。
2、控制部分全部采用進(jìn)口控制器，保障設(shè)備持續(xù)安全運(yùn)行。
3、全自動(dòng)控制系統(tǒng)，出水穩(wěn)定，使用操作方便快捷。
4、結(jié)構(gòu)合理，安裝操作方便。
5、可根據(jù)實(shí)際使用需求，水處理設(shè)備個(gè)性化設(shè)計(jì)相應(yīng)設(shè)備。
六、半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備采用 PLC+觸摸屏控制，全套系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，系統(tǒng)穩(wěn)定性高；大大節(jié)省人力成本和維護(hù)成本，水利用率高，運(yùn)行可靠，經(jīng)濟(jì)合理；使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性，為滿足用戶需要，達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級(jí)的污染，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量.在工藝設(shè)計(jì)上，取達(dá)國(guó)家自來(lái)水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水，再設(shè)有介質(zhì)過(guò)濾器，活性碳過(guò)濾器，鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO 反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI 電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用 PLC 可編程控制器，真正做到了無(wú)人職守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
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