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BE-AC10系列腐蝕清洗設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時(shí)間：2024-12-09 21:24:30瀏覽次數(shù)：28次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：30條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

用于硅半導(dǎo)體MEMS工藝壓力傳感器硅杯的腐蝕與清洗工藝，其采用的工藝，特別適合大晶圓規(guī)?；a(chǎn)。

詳細(xì)介紹

應(yīng)用場景：

      用于硅半導(dǎo)體MEMS工藝壓力傳感器硅杯的腐蝕與清洗工藝。

主要特點(diǎn)：

                • 設(shè)備由腐蝕和清洗兩部分組成，包括設(shè)備主體、腐蝕槽、PID恒溫系統(tǒng)、PLC工控系統(tǒng)、清洗槽、兆聲清洗及快排系統(tǒng)等部分。

                • 腐蝕液槽外循環(huán)，槽內(nèi)均勻噴射的流體模式，腐蝕反應(yīng)均勻性更好。

                • 槽內(nèi)直接測溫，直接加熱的方式，溫度反應(yīng)更靈敏，腐蝕溫度更均勻。

                • 自動(dòng)程序噴淋清洗，兆聲助洗，硅片清洗效果更好

                • 所有程序可設(shè)定運(yùn)行，更精準(zhǔn)，更可靠，更省時(shí)省力。

                • 硅片尺寸可定制：3吋、4吋、5吋、6吋、8吋、10吋、12吋


注：可根據(jù)用戶使用條件定制需要的規(guī)格，有關(guān)技術(shù)指標(biāo)請(qǐng)索取產(chǎn)品詳細(xì)說明。

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