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SEM-N系列聚酰亞胺固化

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SEM-N系列聚酰亞胺固化烤箱是一種清潔工藝烘箱，專(zhuān)為聚酰亞胺硬烘烤和固化應(yīng)用而設(shè)計(jì)

詳細(xì)介紹

SEM-N系列聚酰亞胺固化烤箱是一種清潔工藝烘箱，專(zhuān)為聚酰亞胺硬烘烤和固化應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

許多半導(dǎo)體制造環(huán)境的前端機(jī)器適用于聚酰亞胺固化。

這種昂貴的工藝導(dǎo)致設(shè)備在清潔度，惰性氣氛能力，循環(huán)時(shí)間或數(shù)據(jù)采集方面通常不適合聚酰亞胺固化。

SEM-N系列烤箱優(yōu)化了半導(dǎo)體的聚酰亞胺固化工藝

晶圓器件。它可以縮短周期時(shí)間，并為產(chǎn)品負(fù)載中的所有晶圓提供一致，可重復(fù)的固化過(guò)程。我們?yōu)镾EM-N系列烤箱設(shè)計(jì)了一個(gè)壓力釋放系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一個(gè)可拆卸的“冷阱"，一個(gè)易于清潔的冷凝水收集器，有助于防止聚酰胺在爐內(nèi)排氣中積聚。