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當(dāng)前位置：東莞市穗誠真空設(shè)備有限公司>>真空鍍膜設(shè)備>> ITO導(dǎo)電玻璃鍍膜設(shè)備
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號ITO
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地
更新時(shí)間：2018-05-02 22:04:36瀏覽次數(shù)：281次
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| 原產(chǎn)地: | 東莞穗誠 | ||
| 詳細(xì)說明 | 本鍍膜設(shè)備是在優(yōu)質(zhì)浮法玻璃上采用真空磁控濺射技術(shù)、孿生陰極、中頻濺射技術(shù)，并配以*的控制系統(tǒng)，鍍制SO2/ITO膜層，生產(chǎn)過程全部自動(dòng)、連續(xù)進(jìn)行。 主要組成部分 1 真空室：不銹鋼制造，立式，外壁通冷卻水，內(nèi)襯不銹鋼擋板 2 真空系統(tǒng)：可選擴(kuò)散泵系統(tǒng)，蝸輪分子泵系統(tǒng)或低溫泵系統(tǒng) 3 蒸發(fā)源：直流磁控濺靶和孿生陰極，中頻磁控濺射靶，分別固定在真空室兩例 4 工件烘烤：采用不銹鋼管狀加熱器配合熱板，確保基片加熱均勻性 5 充氣系統(tǒng)：氣體質(zhì)量流量計(jì)和壓強(qiáng)自動(dòng)控制儀 6 電氣控制系統(tǒng)：觸摸屏與PLC自動(dòng)控制，人機(jī)對話方式來實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)顯示、操作與制 7 水冷系統(tǒng)：真空室冷卻和陰極冷卻，有水壓保護(hù)開關(guān)和水濕開關(guān) 主要技術(shù)參數(shù): 極限真空壓力:7＊10-4pa 平均生產(chǎn)周期:90秒/架 基片導(dǎo)尺寸:750＊1200mm 總功率:350kw 直流磁控靶功率:20kw 中頻磁控靶功率:10kw | ||
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