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產(chǎn)品展示
硅片顯影機(jī)
- 公司名稱：
- 更新時間：
- 所 在 地：
- 生產(chǎn)地址：
- 瀏覽次數(shù)：
- 蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司
- 2014-07-06 17:02:00
- 蘇州市
- 蘇州園區(qū)獨(dú)墅湖高教區(qū)若水路398號
- 251
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
| 設(shè)備名稱 | 硅片顯影機(jī) | 設(shè)備用于半導(dǎo)體工藝中對硅片進(jìn)行顯影和定影。 | |
| 規(guī)格尺寸 | 長 3200mm | 寬 1700mm | 高 1780mm |
| 主要材質(zhì) | 殼體：德國進(jìn)口PP板， 槽體：NPP板 | ||
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | 1.設(shè)備由五大部分組成：清洗槽部分、、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機(jī)架及整機(jī)。 2.關(guān)鍵件采用進(jìn)口件，包括氣動閥，PFA管道，全氟循環(huán)系統(tǒng)，保證工作介質(zhì)（酸、堿）的潔凈度，避免雜質(zhì)析出。 3.人機(jī)界面為觸摸屏，方便直觀。 4.除裝片和取片需人工外，其余工藝動作均可自動完成，適用于連續(xù)批量生產(chǎn)。 5.界面中有故障報(bào)警、安全保護(hù)，工藝時序號等功能。 | ||
| 備 注 | 1.工作區(qū)設(shè)凈化裝置，內(nèi)置高效過濾器，滿足工作區(qū)凈化要求（1000～100級，10級為特制）。 | ||
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