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產(chǎn)品展示
半導(dǎo)體硅片去膜/去膠/去蠟清洗機
- 公司名稱：
- 更新時間：
- 所 在 地：
- 生產(chǎn)地址：
- 瀏覽次數(shù)：
- 蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司
- 2017-08-19 01:26:31
- 蘇州市
- 蘇州園區(qū)獨墅湖高教區(qū)若水路398號
- 227
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
概述：本設(shè)備可用于半導(dǎo)體工藝中對2″~8″硅片進(jìn)行去膜處理，該產(chǎn)品技術(shù)*、*性強，適用于規(guī)模生產(chǎn)。2．整臺設(shè)備材料均為進(jìn)口。3．本設(shè)備為雙排槽構(gòu)成，每排7槽，各設(shè)一套機械手，兩排可獨立同時完成相應(yīng)的工序。4．本設(shè)備除裝片和取片需人工外，其余工藝動作均可自動完成。5．每槽裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）。6．工作區(qū)潔凈度：100級。7．槽間工藝轉(zhuǎn)換時間：Tm ax≤3.5S
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