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ITO導(dǎo)電玻璃鍍膜設(shè)備

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更新時(shí)間：2014-06-27 13:23:36瀏覽次數(shù)：312次

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  真空鍍膜設(shè)備

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東莞市匯成真空科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：26條

所在地區(qū)：廣東

聯(lián)系人：何乃霞（銷售專員）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本公司主營(yíng)產(chǎn)品：真空鍍膜設(shè)備;蒸發(fā)磁控濺射鍍膜設(shè)備;多弧離子鍍膜設(shè)備;環(huán)保電鍍?cè)O(shè)備;真空表面處理設(shè)備;PVD離子鍍膜設(shè)備;中頻磁控多功能真空鍍膜設(shè)備;金屬電鍍?cè)O(shè)備;蒸發(fā)鍍膜設(shè)備;塑料電鍍?cè)O(shè)備。

詳細(xì)介紹

本鍍膜設(shè)備是在優(yōu)質(zhì)浮法玻璃上采用真空磁控濺射技術(shù)、孿生陰極、中頻濺射技術(shù)，并配以*的控制系統(tǒng)，鍍制SO2/ITO膜層，生產(chǎn)過程全部自動(dòng)、連續(xù)進(jìn)行。
主要組成部分
1 真空室：不銹鋼制造，立式，外壁通冷卻水，內(nèi)襯不銹鋼擋板
2 真空系統(tǒng)：可選擴(kuò)散泵系統(tǒng)，蝸輪分子泵系統(tǒng)或低溫泵系統(tǒng)
3 蒸發(fā)源：直流磁控濺靶和孿生陰極，中頻磁控濺射靶，分別固定在真空室兩例
4 工件烘烤：采用不銹鋼管狀加熱器配合熱板，確保基片加熱均勻性
5 充氣系統(tǒng)：氣體質(zhì)量流量計(jì)和壓強(qiáng)自動(dòng)控制儀
6 電氣控制系統(tǒng)：觸摸屏與PLC自動(dòng)控制，人機(jī)對(duì)話方式來實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)顯示、操作與制
7 水冷系統(tǒng)：真空室冷卻和陰極冷卻，有水壓保護(hù)開關(guān)和水濕開關(guān)
主要技術(shù)參數(shù):
極限真空壓力:7*10-4pa
平均生產(chǎn)周期:90秒/架
基片導(dǎo)尺寸:750*1200mm
總功率:350kw
直流磁控靶功率:20kw
中頻磁控靶功率:10kw