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上海旦順實(shí)業(yè)有限公司

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COL-2D100度/200度/300度可設(shè)定class10級(jí)晶圓片烘烤無(wú)塵烘箱

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  • 2018-05-16 16:20:56
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【簡(jiǎn)單介紹】

100度/200度/300度可設(shè)定class10級(jí)晶圓片烘烤無(wú)塵烘箱

【詳細(xì)說(shuō)明】

100度/200度/300度可設(shè)定class10級(jí)晶圓片烘烤無(wú)塵烘箱

一、雙層無(wú)塵烘箱產(chǎn)品概述:

本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989,GB2423.2-1989干燥箱技術(shù)條件及國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

二、雙層無(wú)塵烘箱主要技術(shù)指標(biāo):

2.1產(chǎn)品型號(hào):COL-2D(雙箱)

2.2無(wú)塵等級(jí):Class 10;

2.3溫度范圍: +60~ +300℃;

2.4升溫速度:常溫~+200℃,升溫速度>6℃/min  ,降溫速度 3℃/min(適用于150℃~80℃);

2.5溫度均勻度:±2.5℃;(空載)

2.6溫度精確度:±1℃(空載)

2.7工作室尺寸:W700×H500×D600

2.8電    源:380v , 50Hz

2.9環(huán)境條件:溫度 5~40℃;濕度 ≤85%R.H

2.10氣壓:86~106Kpa

三、雙層無(wú)塵烘箱箱體結(jié)構(gòu):

3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;

3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵;

3.3箱體材料:SUS304#不銹鋼板; 

3.4內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE; 

3.5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3.6 保溫材料:采用正廠*玻璃纖維公司出品,100K級(jí)高密度高保溫板制造。 

3.7電熱器:采進(jìn)口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無(wú)塵化電熱發(fā)生器。

3.8潔凈度:烤箱內(nèi)部均采無(wú)塵化配件及材料。

雙層無(wú)塵烤箱:, 傳真::蔣鑫,

:www.done-e.com.

100度/200度/300度可設(shè)定class10級(jí)晶圓片烘烤無(wú)塵烘箱
    
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