日本METROL美德龍傳感器CSK087A-L
按用途

壓力敏和力敏傳感器、位置傳感器、液位傳感器、能耗傳感器、速度傳感器、加速度傳感器、射線輻射傳感器、熱敏傳感器。

按原理

振動(dòng)傳感器、濕敏傳感器、磁敏傳感器、氣敏傳感器、真空度傳感器、生物傳感器等。

按輸出信號(hào)

模擬傳感器：將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成模擬電信號(hào)。

數(shù)字傳感器：將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號(hào)（包括直接和間接轉(zhuǎn)換）。

日本METROL美德龍傳感器CSK087A-L

日本METROL美德龍傳感器CSK087A-L

按用途

壓力敏和力敏傳感器、位置傳感器、液位傳感器、能耗傳感器、速度傳感器、加速度傳感器、射線輻射傳感器、熱敏傳感器。

按原理

振動(dòng)傳感器、濕敏傳感器、磁敏傳感器、氣敏傳感器、真空度傳感器、生物傳感器等。

按輸出信號(hào)

模擬傳感器：將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成模擬電信號(hào)。

數(shù)字傳感器：將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號(hào)（包括直接和間接轉(zhuǎn)換）。

膺數(shù)字傳感器：將被測(cè)量的信號(hào)量轉(zhuǎn)換成頻率信號(hào)或短周期信號(hào)的輸出（包括直接或間接轉(zhuǎn)換）。

開(kāi)關(guān)傳感器：當(dāng)一個(gè)被測(cè)量的信號(hào)達(dá)到某個(gè)特定的閾值時(shí)，傳感器相應(yīng)地輸出一個(gè)設(shè)定的低電平或高電平信號(hào)。

按其制造工藝

傳感器（圖3）集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。

薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底（基板）上的，相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí)，同樣可將部分電路制造在此基板上。

厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是Al2O3制成的，然后進(jìn)行熱處理，使厚膜成形。

陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝（溶膠、凝膠等）生產(chǎn)。

完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性，在某些方面，可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。

每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。

按測(cè)量目

物理型傳感器是利用被測(cè)量物質(zhì)的某些物理性質(zhì)發(fā)生明顯變化的特性制成的。

化學(xué)型傳感器是利用能把化學(xué)物質(zhì)的成分、濃度等化學(xué)量轉(zhuǎn)化成電學(xué)量的敏感元件制成的。

生物型傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的，用以檢測(cè)與識(shí)別生物體內(nèi)化學(xué)成分的傳感器。

按其構(gòu)成

基本型傳感器：是一種基本的單個(gè)變換裝置。

組合型傳感器：是由不同單個(gè)變換裝置組合而構(gòu)成的傳感器。

應(yīng)用型傳感器：是基本型傳感器或組合型傳感器與其他機(jī)構(gòu)組合而構(gòu)成的傳感器。

按作用形式

按作用形式可分為主動(dòng)型和被動(dòng)型傳感器。

主動(dòng)型傳感器又有作用型和反作用型，此種傳感器對(duì)被測(cè)對(duì)象能發(fā)出一定探測(cè)信號(hào)，能檢測(cè)探測(cè)信號(hào)在被測(cè)對(duì)象中所產(chǎn)生的變化，或者由探測(cè)信號(hào)在被測(cè)對(duì)象中產(chǎn)生某種效應(yīng)而形成信號(hào)。檢測(cè)探測(cè)信號(hào)變化方式的稱為作用型，檢測(cè)產(chǎn)生響應(yīng)而形成信號(hào)方式的稱為反作用型。雷達(dá)與無(wú)線電頻率范圍探測(cè)器是作用型實(shí)例，而光聲效應(yīng)分析裝置與激光分析器是反作用型實(shí)例。

被動(dòng)型傳感器只是接收被測(cè)對(duì)象本身產(chǎn)生的信號(hào)，如紅外輻射溫度計(jì)、紅外攝像裝置等。

 heidenhain        626015-20    電纜
SCHUNK        303023    卡爪配件
BTR        KRA-S12/21-21-2 24VDC    繼電器
balluff        BTL7-S512-M0200-B-KA10    位移傳感器
Tiefenbach        IKX177L212 L=2m    磁開(kāi)關(guān)
Rexroth        R928017111 9.60LA H10XL-A00-0-M SO3000    過(guò)濾器
B&R Industrie-Elektronik GmbH        X20AI2632    總線模塊
GEFRAN        W211-100-660-0-000    可控硅
Puls        CT10.241    電源
Honsberg        HD2K-010GM008    流量傳感器
Turck        NI5-G12-Y1 0055    接近開(kāi)關(guān)
Kraus & Naimer        CH10 A721-600 EGF G521    開(kāi)關(guān)
KWilliam        P27000F1    隔離放大器
hydac        EDS344-3-400-000    壓力開(kāi)關(guān)
Turck        BL20-2AO-I(4...20MA) No.6827034    總線模塊
Hawe        G3-1-A24    閥
suco        0162-44144-1-001    壓力開(kāi)關(guān)
SIEMENS        3EB2 020-7D    避雷針
FSG        U2E-884-Z    軸承
SMW        ID:029771    控制桿
EFTEC Engineering GmbH        11287901 KAA-1300 250bar single connection    閥
SIEMENS        6DD1684-0GE0    模塊
RUD        031400048 VLBG20to M48    吊環(huán)
AirCom        PQ1EE-12    壓力調(diào)節(jié)器
EXCELLO        X.1009.6805    夾具
BICKER ELEKTRONIK GmbH        IUPS-301    電源
kral        EEA107 ，tariff no.: 85489090    隔離變壓器
Turck        FLDP-IM8-0001 Nr.6825320    模塊
Vickers        sv13-20-0-0-24dgh normalerweise ?ffnen    閥門(mén)
GUTEKUNST+CO.KG        D-245 2.00x19.00x45.00x5.50    壓縮彈簧
Honsberg        HD1K-025GM040    流量開(kāi)關(guān)
Pheonix        1212063    壓接設(shè)備
Philips        PL-S 5W/840/4P    熒光燈
foerster        0154474,6.762.02-6621-2510    碳刷
FEIN        ASM14-12（gun with charger,a spare battery)    定扭電
Turck        IM21-14EX-CDTRI Nr:7505651    隔離器
ATOS        DK-1831/2/A-WG    液壓閥
heidenhain        ROQ 425 512 631703-07    編碼器
Lenord+Bauer        GEL 2432T-1BC600    編碼器
BEKA        F-71925 2685.1.1.1.1.1.1    泵
Winkelmann        3049000    軸承
Hawo        HM 450 AS    封口機(jī)
INOR        70APHCFX001 APAQ-HCF    溫度變送器
Stoeber        EK502UMPM140,Nr.1552993    電機(jī)
Pixsys        ATR121-B    自動(dòng)控制器
SICK        CDB620-001 1042256    零件
norelem        08910-A2200X20    襯套
Turck        NI5-K11K-AN5X/5 1M 510610    接近開(kāi)關(guān)
parker        PVS50EH140C2    葉片泵
Schimpf GmbH        01-10/430    自動(dòng)控制器
Phoenix        Art Nr.2736220    總線模塊
Bowman        FC100-1426-2    換熱器
MAVILOR        BLS-113,NR.113-BS113A00010500    電機(jī)
hydac        EDS3446-3-0400-000    壓力開(kāi)關(guān)
ROLLON        004-022713 TEX-02080/2/CEX30-088-2RS    壓力傳感器
Turck        BI3U-MT12H-AP6X-H1141 Nr:1634212    接近開(kāi)關(guān)
framo        8-2020-70.00 I =14,1:1    2級(jí)行星齒輪
heidenhain        ID:557647-17    編碼器
Stromag AG        720V00011 SWD40.60    離合器
Murr        7000-12781-0000000    模塊
B&R        7DM465.7.    控制模塊
hydac        EDS 1791-N-250-000    壓力變送器
SIEMENS        7ML5810-1A    液位計(jì)
Phoenix        QUINT-PS/ 1AC/24DC/ 3.5;2866747    電源
PILZ        777308    自動(dòng)控制器
Basler        A102f Part number 102021    工業(yè)照相機(jī)
suco        0184-45703-1-003    壓力開(kāi)關(guān)
SIEMENS        7ML1201-1EF00    液位計(jì)
Turck        BI20-CP40-VP4X2 5692    接近開(kāi)關(guān)
Hawe        GS2-1-A24    閥
Stemmann        LP60S 14 WEGE Artikel.6261637(345)    滑環(huán)

傳感器靜態(tài)

傳感器（圖4）傳感器的靜態(tài)特性是指對(duì)靜態(tài)的輸入信號(hào)，傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關(guān)系。因?yàn)檫@時(shí)輸入量和輸出量都和時(shí)間無(wú)關(guān)，所以它們之間的關(guān)系，即傳感器的靜態(tài)特性可用一個(gè)不含時(shí)間變量的代數(shù)方程，或以輸入量作橫坐標(biāo)，把與其對(duì)應(yīng)的輸出量作縱坐標(biāo)而畫(huà)出的特性曲線來(lái)描述。表征傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有：線性度、靈敏度、遲滯、重復(fù)性、漂移等。

1. 線性度：指?jìng)鞲衅鬏敵隽颗c輸入量之間的實(shí)際關(guān)系曲線偏離擬合直線的程度。定義為在全量程范圍內(nèi)實(shí)際特性曲線與擬合直線之間的大偏差值與滿量程輸出值之比。
2. 靈敏度：靈敏度是傳感器靜態(tài)特性的一個(gè)重要指標(biāo)。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應(yīng)輸入量增量之比。用S表示靈敏度。
3. 遲滯：傳感器在輸入量由小到大（正行程）及輸入量由大到?。ǚ葱谐蹋┳兓陂g其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲滯。對(duì)于同一大小的輸入信號(hào)，傳感器的正反行程輸出信號(hào)大小不相等，這個(gè)差值稱為遲滯差值。
4. 重復(fù)性：重復(fù)性是指?jìng)鞲衅髟谳斎肓堪赐环较蜃魅砍踢B續(xù)多次變化時(shí)，所得特性曲線不*的程度。
5. 漂移：傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下，傳感器輸出量隨著時(shí)間變化，此現(xiàn)象稱為漂移。產(chǎn)生漂移的原因有兩個(gè)方面：一是傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù)；二是周圍環(huán)境（如溫度、濕度等）。
6. 分辨力：當(dāng)傳感器的輸入從非零值緩慢增加時(shí)，在過(guò)某一增量后輸出發(fā)生可觀測(cè)的變化，這個(gè)輸入增量稱傳感器的分辨力，即小輸入增量。
7. 閾值：當(dāng)傳感器的輸入從零值開(kāi)始緩慢增加時(shí)，在達(dá)到某一值后輸出發(fā)生可觀測(cè)的變化，這個(gè)輸入值稱傳感器的閾值電壓。

傳感器動(dòng)態(tài)

所謂動(dòng)態(tài)特性，是指?jìng)鞲衅髟谳斎胱兓瘯r(shí)，它的輸出的特性。在實(shí)際工作中，傳感器的動(dòng)態(tài)特性常用它對(duì)某些標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)來(lái)表示。這是因?yàn)閭鞲衅鲗?duì)標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)容易用實(shí)驗(yàn)方法求得，并且它對(duì)標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)與它對(duì)任意輸入信號(hào)的響應(yīng)之間存在一定的關(guān)系，往往知道了前者就能推定后者。較常用的標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)有階躍信號(hào)和正弦信號(hào)兩種，所以傳感器的動(dòng)態(tài)特性也常用階躍響應(yīng)和頻率響應(yīng)來(lái)表示。

線性度

通常情況下，傳感器的實(shí)際靜態(tài)特性輸出是條曲線而非直線。在實(shí)際工作中，為使儀表具有均勻刻度的讀數(shù)，常用一條擬合直線近似地代表實(shí)際的特性曲線、線性度（非線性誤差）就是這個(gè)近似程度的一個(gè)性能指標(biāo)。

擬合直線的選取有多種方法。如將零輸入和滿量程輸出點(diǎn)相連的理論直線作為擬合直線；或?qū)⑴c特性曲線上各點(diǎn)偏差的平方和為小的理論直線作為擬合直線，此擬合直線稱為小二乘法擬合直線。

靈敏度

傳感器（圖5）靈敏度是指?jìng)鞲衅髟诜€(wěn)態(tài)工作情況下輸出量變化△y對(duì)輸入量變化△x的比值。

它是輸出一輸入特性曲線的斜率。如果傳感器的輸出和輸入之間顯線性關(guān)系，則靈敏度S是一個(gè)常數(shù)。否則，它將隨輸入量的變化而變化。

靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。例如，某位移傳感器，在位移變化1mm時(shí)，輸出電壓變化為200mV，則其靈敏度應(yīng)表示為200mV/mm。

當(dāng)傳感器的輸出、輸入量的量綱相同時(shí)，靈敏度可理解為放大倍數(shù)。

提高靈敏度，可得到較高的測(cè)量精度。但靈敏度愈高，測(cè)量范圍愈窄，穩(wěn)定性也往往愈差。

分辨率

分辨率是指?jìng)鞲衅骺筛惺艿降谋粶y(cè)量的小變化的能力。也就是說(shuō)，如果輸入量從某一非零值緩慢地變化。當(dāng)輸入變化值未過(guò)某一數(shù)值時(shí)，傳感器的輸出不會(huì)發(fā)生變化，即傳感器對(duì)此輸入量的變化是分辨不出來(lái)的。只有當(dāng)輸入量的變化過(guò)分辨率時(shí)，其輸出才會(huì)發(fā)生變化。

通常傳感器在滿量程范圍內(nèi)各點(diǎn)的分辨率并不相同，因此常用滿量程中能使輸出量產(chǎn)生階躍變化的輸入量中的大變化值作為衡量分辨率的指標(biāo)。上述指標(biāo)若用滿量程的百分比表示，則稱為分辨率。分辨率與傳感器的穩(wěn)定性有負(fù)相相關(guān)性。

9選型原則

編輯

要進(jìn)行—個(gè)具體的測(cè)量工作，首先要考慮采用何種原理的傳感器，這需要分析多方面的因素之后才能確定。因?yàn)?，即使是測(cè)量同一物理量，也有多種原理的傳感器可供選用，哪一種原理的傳感器更為合適，則需要根據(jù)被測(cè)量的特點(diǎn)和傳感器的使用條件考慮以下一些具體問(wèn)題：量程的大?。槐粶y(cè)位置對(duì)傳感器體積的要求；測(cè)量方式為接觸式還是非接觸式；信號(hào)的引出方法，有線或是非接觸測(cè)量；傳感器的來(lái)源，國(guó)產(chǎn)還是進(jìn)口，價(jià)格能否承受，還是自行研制。^[6]

在考慮上述問(wèn)題之后就能確定選用何種類型的傳感器，然后再考慮傳感器的具體性能指標(biāo)。

靈敏度的選擇

通常，在傳感器的線性范圍內(nèi)，希望傳感器的靈敏度越高越好。因?yàn)橹挥徐`敏度高時(shí)，與被測(cè)量變化對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)的值才比較大，有利于信號(hào)處理。但要注意的是，傳感器的靈敏度高，與被測(cè)量無(wú)關(guān)的外界噪聲也容易混入，也會(huì)被放大系統(tǒng)放大，影響測(cè)量精度。因此，要求傳感器本身應(yīng)具有較高的信噪比，盡量減少?gòu)耐饨缫氲母蓴_信號(hào)。

傳感器的靈敏度是有方向性的。當(dāng)被測(cè)量是單向量，而且對(duì)其方向性要求較高，則應(yīng)選擇其它方向靈敏度小的傳感器；如果被測(cè)量是多維向量，則要求傳感器的交叉靈敏度越小越好。

頻率響應(yīng)特性

傳感器的頻率響應(yīng)特性決定了被測(cè)量的頻率范圍，必須在允許頻率范圍內(nèi)保持不失真。實(shí)際上傳感器的響應(yīng)總有—定延遲，希望延遲時(shí)間越短越好。

傳感器的頻率響應(yīng)越高，可測(cè)的信號(hào)頻率范圍就越寬。

傳感器在動(dòng)態(tài)測(cè)量中，應(yīng)根據(jù)信號(hào)的特點(diǎn)(穩(wěn)態(tài)、瞬態(tài)、隨機(jī)等)響應(yīng)特性，以免產(chǎn)生過(guò)大的誤差。

線性范圍