化工機械設(shè)備網(wǎng)
詳細(xì)介紹
氣體質(zhì)量流量控制器，即Mass Flow Controller（縮寫為MFC），是一個可以手動設(shè)定或與電腦連接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置，能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確的控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有輕微變化，也不會影響其正常的工作。原則上不需要溫度和壓力補償。
（1）氣體流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)。
（2）氣體測量控制的自動化
- （3）可精確的定量控制流量
- 氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
4.2工作原理
- 流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補償）。
- 將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
- 分流器決定主通道的流量。
- 與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。
- 控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）
- 主要技術(shù)指標(biāo)
編號 | 項目 | MF-200C | MF-200M |
1 | 流量規(guī)格（N2） | 10sccm～30slpm | |
2 | 準(zhǔn)確度 | ±1％F.S(Full Scale) | |
3 | 重復(fù)精度 | ±0.25％F.S（Full Scale） | |
4 | 響應(yīng)時間 | ≤2sec（特別要求時：≤1sec） | |
5 | 耐壓 | ≤90bar | |
6 | 工作環(huán)境溫度 | 0℃～50℃ | |
7 | 輸入輸出信號 | 0～5V | 0～5V or 4～20mA |
8 | 供電 | +15Vdc or +24Vdc 350mA | |
9 | 漏率 | 1×10atm.cc/sec | |
10 | 使用范圍 | 2～100％滿量程 | |
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