詳細介紹
優(yōu)勢:
- 處理腔室加熱,安全緊急停止;
- 氮氣加熱,安全緊急停止;
- *從正面操作;
- 安全可靠的伺服電機,EN954-1,類別3;
選配件:
電導率測量
抗靜電設備
回收去離子水
另外配件:
氮氣外部壓力調節(jié)器
氮氣流量計
產(chǎn)品參數(shù):
尺寸(英寸) | H | H1 | H2 | H3 | H4 | H5 | B | B1 | B2 | B3 | T |
06 | 691 | 320 | 282 | 244 | 206 | 50 | 455 | 73 | 131 | 354 | 665 |
08 | 857 | 432 | 352 | 272 | 192 | 50 | 521 | 100 | 190 | 461 | 737 |
12 | 997 | 432 | 352 | 272 | 192 | 50 | 661 | 100 | 190 | 531 | 817 |
主營產(chǎn)品:
Laurell勻膠機
Harrick等離子清洗機
Thetametrisis膜厚儀
Microxact探針臺
ALD原子層沉積系統(tǒng)
TRION反應離子刻蝕機
Uvitron紫外固化箱
NXQ紫外曝光光刻機
Novascan紫外臭氧清洗機
Nilt納米壓印機
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板
Annealsys高溫退火爐
Kinematic程序剪切儀
Laurell EDC系統(tǒng),濕站系統(tǒng)
Wabash/Carver自動壓片機