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法國施耐德XSZCDSPEC01接近開關
壓阻式光電開關傳感器由外殼、硅膜片和引線組成,其核心部分是一塊圓形的膜片,在膜片上利用集成電路的工藝擴散四個阻值相等的電阻,構成電橋。膜片的四周用一圓環(huán)固定,常用硅杯一體結構來減小膜片與基座連接所帶來的性能變化。膜片的兩邊有兩個壓力腔,一個是和被測系統(tǒng)相連的高壓腔,另一個是低壓腔,通常和大氣相通。當膜片兩邊存在壓力差時,膜片上各點存在應力。四個電阻在應力作用下阻值發(fā)生變化,電橋失去平衡,輸出相應的電壓。該電壓和膜片兩邊的壓力差成正比,這樣測得不平衡電橋的輸出電壓就能求得膜片所受的壓力差。
1、壓阻式光電開關傳感器效應:壓阻式光電開關傳感器基于半導體材料的壓阻效應—當對半導體材料施加應力作用時,半導體材料的電阻率將隨著應力的變化而發(fā)生變化,電阻值也發(fā)生變化。
2、壓阻式光電開關傳感器的工作原理:金屬電阻應變片的電阻變化主要由金屬材料的幾何尺寸決定。但對于半導體材料而言,情況正好相反,即由材料幾何尺寸變化而引起電阻的變化很小,可忽略不計,也就是說,半導體材料電阻的變化主要由半導體材料電阻率的變化造成,此即壓阻式光電開關傳感器的工作原理。壓阻式光電開關傳感器電阻的變化也是標準規(guī)律。
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