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技術(shù)文章

壓縮機(jī)振動(dòng)傳感器YS

閱讀:146          發(fā)布時(shí)間:2020-9-16

壓縮機(jī)振動(dòng)傳感器YS,利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發(fā)生變化,通過(guò)測(cè)量電路就可得到正?比于力變化的電信號(hào)輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、?yīng)變、流量、真空度)的測(cè)量和控制。這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過(guò)硅膜片感受被測(cè)壓力的。 硅膜片的一面是與被測(cè)壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),另兩條處于拉應(yīng)力區(qū),相對(duì)于膜片中心對(duì)稱。 

技術(shù)參數(shù):

  被測(cè)介質(zhì): 氣體、液體

  壓力類型: 表壓,負(fù)壓,正負(fù)壓,絕壓

  量    程:-100KPa~1MPa~10MPa~60MPa~100MPa~400MPa;±100KPa等正負(fù)混合壓力

  同時(shí)輸出 :無(wú)線GPRS傳輸(需插SIM卡),RS485數(shù)字信號(hào),0~5VDC模擬信號(hào),TTL/5V高低電平信號(hào)。

  綜合精度: ±0.1%FS(量程60MPa以上)、±0.25%FS、±0.5%FS

  供    電: 交流220VAC(變壓直流12VDC),直流7-24VDC (可電池供電)

  絕緣電阻: ≥1000 MΩ/100VDC

  介質(zhì)溫度: -20~85℃、-20~150℃、-20~200℃、-20~500℃(可選)

  環(huán)境溫度: -20~70℃

  儲(chǔ)存溫度: -40~70℃

  相對(duì)濕度: 0~95% RH

  密封等級(jí): IP65/IP68

  過(guò)載能力: 150%FS

  響應(yīng)時(shí)間: ≤10mS

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