日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設(shè)備LPE爐

■設(shè)備概述
這是一種LPE（液體，相位，外延）薄膜晶體制造設(shè)備，擁有100多項日本交付記錄。 它由高精度立式管式爐，旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動軸和具有*溫度調(diào)節(jié)精度的控制單元組成，可實現(xiàn)高效的薄膜晶體生產(chǎn)。
薄膜晶體生產(chǎn)
●特長
○優(yōu)異的浸泡特性
○高精度樣品軸旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動機構(gòu)
○可以添加到現(xiàn)有的熔爐中（有限制）
●選項
○惰性氣體導(dǎo)入機構(gòu)
○電信號潤濕接點
○排氣罩
‥
○根據(jù)實際制造過程進行計算機自動操作控制（也可以中斷手動操作）
通過事先輸入過程詳細信息，目的地，移動速度，旋轉(zhuǎn)狀態(tài)和旋轉(zhuǎn)速度將自動以值執(zhí)行。

日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設(shè)備LPE爐