KRI Ion Source Power Supply and Power Pack Controllers 功率控制器

KRI Ion Source 應(yīng)用領(lǐng)域：

無柵極等離子源技術(shù)

----End-Hall 離子/等離子源

有柵極離子源技術(shù)

----RFICP 離子源

----DC 離子源

電子源技術(shù)

----燈絲

----中空陰極 (Hollow cathode)

----等離子中和器

單機(jī)應(yīng)用

----直流電源 (DC power)

----射頻電源 (RF power)

有多個(gè)模組組成，模組的特性取決于功率、頻率、電壓、電流和控制方式，大多數(shù)模組都滿足 CE 和 CoHS 標(biāo)準(zhǔn)。

監(jiān)控：監(jiān)視器

穩(wěn)定輸出：設(shè)置的優(yōu)化

狀態(tài)診斷：用戶直接獲取

參數(shù)存儲(chǔ)：準(zhǔn)確保存

連續(xù)性和穩(wěn)定性

功率控制器能夠在緊急情況下比如載入高能量的等離子體、短路、電流過沖、電壓過沖和功率過沖的情況，實(shí)現(xiàn)保護(hù)功能。確保在運(yùn)行沉積和刻蝕工藝時(shí)進(jìn)行不間斷的操作。通過數(shù)顯的面板，可以即時(shí)觀測(cè)和控制工藝參數(shù)和狀態(tài)資訊。

KRI Individual Power Supply Controller 獨(dú)立的功率控制器

功率控制器可以單獨(dú)使用也可以集成到其它功率包中，能提供直流、交流和射頻功率。

AC Power 交流電源

交流電源輸出一個(gè)低頻的直流信號(hào)，適用于低阻抗負(fù)載，比如驅(qū)動(dòng)類似于燈絲這樣的發(fā)熱原件，通過大的功率加熱燈絲到發(fā)射熱電子的溫度。

交流電源比直流電源更有利于燈絲壽命的延長(zhǎng)

軟起功能有助于平穩(wěn)的提高燈絲溫度從冷起到電子發(fā)射的溫度

型號(hào)：

FC 1000

FC 1006

DC Power 直流電源

直流電源通常應(yīng)有在等離子體輝光放電、偏壓和離子加速?？商峁浊叩妮敵龉β剩妷悍秶?80~1000 V。典型應(yīng)用是用于離子、等離子和電子源的電極和襯底偏壓。

對(duì)陽極施以電壓點(diǎn)燃和維持等離子放電

對(duì)等離子施以偏壓去定量離子能量

對(duì)離子光柵施以偏壓去撲捉和加速離子

對(duì)陰極施以電壓獲得電子流

輸出的電壓、電流和調(diào)節(jié)模式可選，可更具需要選擇輸出值像等離子電位、離子能量、電子流和離子軌道等參數(shù)。

RF Power 射頻電源

射頻電源產(chǎn)生一個(gè)射頻信號(hào)，適用于低阻抗的電磁負(fù)載，典型應(yīng)用是驅(qū)動(dòng)射頻天線將能量輻射進(jìn)等離子腔室。通過感應(yīng)耦合的方式射頻功率產(chǎn)生和維持一個(gè)高密度的等離子。通過自動(dòng)阻抗匹配使功率大的傳輸優(yōu)化，此外設(shè)計(jì)上使電容耦合和功率衰減最小化。

型號(hào)：

RF 1000

RF 1500

氣體控制器：

KRI 氣體控制器提供功率和控制多路品質(zhì)流量計(jì)，能夠使用于不同的氣體和氣體混合物，而且可以和幾乎所有的不同制造商的模組相容，數(shù)字顯示模式。使用者可以自行設(shè)置流量并有存儲(chǔ)功能。

型號(hào)： GC 1000

自動(dòng)系統(tǒng)控制器：

是一個(gè)可程式設(shè)計(jì)的單元，能集成到電源模組中去提供

它能夠自動(dòng)選擇優(yōu)的模式去校準(zhǔn)等離子負(fù)載，達(dá)到穩(wěn)定的狀態(tài)，同時(shí)可以選擇回饋模式。能存儲(chǔ)多個(gè)工藝程序，同時(shí)控制多個(gè) MFC。

自動(dòng)系統(tǒng)控制器：

是一個(gè)可程式設(shè)計(jì)的單元，能集成到電源模組中去提供的功率控制。該控制器采用的通信協(xié)定與功率模組進(jìn)行快捷的通信，實(shí)現(xiàn)控制功能。

它能夠自動(dòng)選擇優(yōu)的模式去校準(zhǔn)等離子負(fù)載，達(dá)到穩(wěn)定的狀態(tài)，同時(shí)可以選擇回饋模式。能存儲(chǔ)多個(gè)工藝程序，同時(shí)控制多個(gè)MFC。

KRI Integrated Power Pack Controller 電源模組集成包

電源模組集成包有獨(dú)立的電源模組衍生而來，因?yàn)?KRI 的獨(dú)立電源模組是一種標(biāo)準(zhǔn)的模組，所以這些模組能夠容易的集成到自動(dòng)、多功能的功率包中。集成包是一個(gè)強(qiáng)有力的工具，能夠簡(jiǎn)化等離子、離子和電子源的操作，大的優(yōu)點(diǎn)是可以方便的實(shí)現(xiàn)功率控制的優(yōu)化。

當(dāng)經(jīng)常應(yīng)用在如下的場(chǎng)合：

1. 工藝工程師想實(shí)現(xiàn)寬范圍的工藝設(shè)計(jì)和優(yōu)化，渴望確保參數(shù)的重復(fù)性，工藝可控

2. 生產(chǎn)經(jīng)理想實(shí)現(xiàn)一個(gè)簡(jiǎn)單的命令操作，使工藝參數(shù)快速穩(wěn)定

3. OEM 想實(shí)現(xiàn)高的集成度從而降低成本

4. 從事薄膜表面和納米結(jié)構(gòu)的科研工作者想實(shí)現(xiàn)靈活、精確的工藝控制

eH Plasma Power Pack Controller---eH 等離子功率集成包

eH 等離子功率集成包用于驅(qū)動(dòng) end-Hall 離子源，它由電子發(fā)射模組、等離子放電模組和自動(dòng)系統(tǒng)控制模組組成，結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕便。適用于材料工藝中要求高效、穩(wěn)定和精確的電子或離子源的功率控制。

它能給 end-Hall 等離子源的陽極或陰極提供功率，使用者可根據(jù)需要設(shè)置陽極的離子密度和離子能量，同樣的使用者也可以界定陰極的電子流參數(shù)。eH Plasma Power Pack 能夠跟蹤離子流，自動(dòng)發(fā)射電子確保電中性。

eH Plasma Power Pack 有自我保護(hù)功能，同時(shí)它是一個(gè)快速反應(yīng)的功率源，可以在幾秒鐘內(nèi)點(diǎn)火產(chǎn)生等離子，并在幾秒鐘內(nèi)使離子束達(dá)到穩(wěn)定?？梢源鎯?chǔ)多個(gè)工藝程序、控制多個(gè)MFC確保對(duì)多種氣體和氣體混合物的精確控制。

使用者能容易的設(shè)置各種參數(shù)和模式、狀態(tài)，面版上會(huì)顯示出設(shè)定值、運(yùn)行值、功能表存儲(chǔ)資訊和工作狀態(tài)資訊。

KRI RFICP Ion Power Pack Controller 射頻感應(yīng)耦合等離子功率集成包

RFICP Ion Power Pack Controller 用于驅(qū)動(dòng)有柵極離子源，由中和器模組、放電模組、偏壓模組和加速模組組成，這些模組集成在一個(gè) 19" 的集成包中。

RFICP Ion Power Pack Controller 給離子源的射頻線圈、離子光學(xué)和中和器提供電源，將射頻功率耦合到輝光放電腔室，產(chǎn)生高密度的等離子體。配有自動(dòng)阻抗適配器實(shí)現(xiàn)優(yōu)化，用戶可以選擇離子能量和離子密度來滿足工藝的要求。廣泛用于沉積和刻蝕工藝中。

射頻的額定功率 0.5 KW 或更高，中和器的額定功率 0.5 A 或更高。