化工機械設(shè)備網(wǎng)
詳細介紹
為了使堵片傳感器的靈敏度, 分辨率、測量范圍小、測量精度等得到提高, 可實現(xiàn)對堵片打開信號的可靠、穩(wěn)定測量, 滿足航天飛行器發(fā)動機控制系統(tǒng)信號測試需要, 某堵片傳感器制造商采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 濺射制備堵片傳感器薄膜.
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術(shù)參數(shù):
離子源型號 | RFICP220 |
Discharge | RFICP 射頻 |
離子束流 | >800 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 20 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 10-40 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 30 cm |
直徑 | 41 cm |
中和器 | LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量
KRI 離子源的功能實現(xiàn)了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實現(xiàn)的.
KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過程中.
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口品牌的代理商.
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上海伯東: 羅先生
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