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考夫曼霍爾離子源用于清洗PPS/ PEEK襯底面

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    經(jīng)銷商
  • 所在地

    上海市

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更新時間:2023-08-17 10:20:34瀏覽次數(shù):81

聯(lián)系我們時請說明是化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

產(chǎn)品簡介

伯東 KRI 考夫曼霍爾離子源 eh 3000 用于清洗 PPS/ PEEK 襯底面

詳細(xì)介紹

為了獲得具備電磁屏蔽能力的 PPS, PEEK等高分子輕量化材料, 但 PPS, PEEK 導(dǎo)電性能差、無電磁波屏蔽能力或者達(dá)不到理想的屏蔽效果, 因此, 某機(jī)構(gòu)采用磁控濺射鍍膜工藝對 PPS、PEEK 等材料結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品表面進(jìn)行金屬化處理.

 

其工藝主要分為前處理、鍍膜、后處理等三個環(huán)節(jié). 

 

前處理需要對 PPS/PEEK 待鍍襯底面進(jìn)行 Hall 離子源清洗, 該機(jī)構(gòu)采用伯東 KRI 考夫曼 霍爾離子源 eh 3000 對 PPS/ PEEK 襯底面進(jìn)行清洗.

 

KRI 考夫曼 霍爾離子源 Gridless eH 3000 主要技術(shù)參數(shù):

離子源型號

霍爾離子源 eH3000

Cathode/Neutralizer

HC

電壓

50-250V

電流

20A

散射角度

>45

可充其他

Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

氣體流量

5-100sccm

高度

6.0“

直徑

9.7“

水冷

可選

 

其濺射室需要沉積前本底真空抽到 1×10-5 Pa, 經(jīng)推薦采用伯東經(jīng)濟(jì)型分子泵組 HiCube 30 Eco, 其技術(shù)參數(shù)如下: 

泵組型號

進(jìn)氣法蘭

分子泵
型號

抽速
氮?dú)鈒/s

極限真空
 hPa

前級泵型號

前級泵
抽速 m3/h

Hicube 30 Eco

DN 40 ISO-KF

 Hipace 30

22

1X10-7

MVP 015-2

1

 

運(yùn)用結(jié)果:

1. KRI 考夫曼 霍爾離子源 eh 3000 對襯底面良好的清洗, 提高了膜層的附著力

2. 經(jīng)濟(jì)型分子泵組 HiCube 30 Eco快速將本底真空抽到 1×10-5 Pa, 并穩(wěn)定保持整個過程的真空度

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口品牌的代理商.

 

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東: 羅小姐

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