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當(dāng)前位置：青島佳鼎分析儀器有限公司>>電鏡設(shè)備>> 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列
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更新時(shí)間：2023-02-24 16:33:58瀏覽次數(shù)：140次
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AMAT 半導(dǎo)體檢測設(shè)備 SEMVision G2
KLA無圖案晶圓缺陷檢測系統(tǒng)Surfscan SP2
現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍，可以獲得高穩(wěn)定的束流。
通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號的檢測原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。
沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空樣品倉
運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度
| 項(xiàng)目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次電子分辨率 | 0.7 nm （加速電壓15 kV） 0.8 nm （著陸電壓1 kV）*3 | 0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3 | |||||
| 著陸電壓 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| 放大倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 | |||||
| 樣品臺 | 樣品臺控制 | 3軸馬達(dá)臺（可選5軸馬達(dá)臺） | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | ||||
| 移動(dòng)范圍 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| 再現(xiàn)性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm | |||
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