愛發(fā)科ICP刻蝕設(shè)備刻蝕系統(tǒng)NE-550EXz現(xiàn)貨，電極的刻蝕效果好，能夠進行正確穩(wěn)定的刻蝕重點效果檢測，具有維護便利、性能穩(wěn)定、產(chǎn)能優(yōu)良等特點。

設(shè)備優(yōu)勢

工藝重復(fù)性、穩(wěn)定性業(yè)界

解決了等離子體源天板IPC的問題，搭載Star電極及多個ULVAC

可以正確且穩(wěn)定的檢測刻蝕終點

操作便利維護簡單

搭載多個加熱機構(gòu)

更高的等離子體密度保證更好的刻蝕效果

搭載ULVACISM電極，等離子體密度高出常規(guī)ICP一個數(shù)量級

刻蝕系統(tǒng)NE-550EXz參數(shù)表