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青島佳鼎分析儀器有限公司
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SAMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)刻蝕機(jī)RIE-10NR

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

更新時(shí)間：2023-02-24 17:08:25瀏覽次數(shù)：65次

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SAMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)刻蝕機(jī)RIE-10NR產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：高度緊湊型設(shè)計(jì)，節(jié)約空間

SAMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)刻蝕機(jī)RIE-10NR

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

高度緊湊型設(shè)計(jì)，節(jié)約空間；

均勻度-小于±5%超過(guò)8英寸；

30年的RIE蝕刻器生產(chǎn)工藝經(jīng)驗(yàn)；

具備大型晶圓處理能力，能夠處理8英寸晶圓；

易于操作-電腦化的觸摸屏顯示器；

ASMCO二手翻新刻蝕系統(tǒng)RIE-10NR

設(shè)備硬件配置

1. 可加工尺寸，8 寸 wafer；
2. 真空系統(tǒng)
EBARA 羅茨泵+OSAKA 分子泵
3. RF
AX-300 300W,13.56MHZ
4. 氣體
O2 200SCCM
CF4 200SCCM
AR 100SCCM
SF6 100SCCM
氣體可根據(jù)客戶需求更改
5. VAT 蝶閥
6. MKS 薄膜電容真空計(jì)

7. 配備冷水機(jī)

ASMCO二手翻新蝕刻系統(tǒng)ORE-10NR參數(shù)表

翻新內(nèi)容

1. 真空泵翻新；
2. MFC 校準(zhǔn)翻新；
3. 腔室 parts 翻新；
4. 真空管路波紋管及密封件更換；

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