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行業(yè)產(chǎn)品

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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司


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MPCVD 設(shè)備用于金剛石單晶生長及摻雜研究（研發(fā)型）

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間：2022-10-12 11:47:53瀏覽次數(shù)：88次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：87條

所在地區(qū)：上海上海

產(chǎn)品簡介

關(guān)鍵詞:MPCVD

詳細(xì)介紹

關(guān)鍵詞: MPCVD, MWCVD, MPACVD, MPECVD, CVD金剛石、微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
 
             CVD金剛石合成設(shè)備、納米晶金剛石、超納米晶金剛石、UNCD、NCD、MCD、

 

              Microwave Plasma Assited/Enhanced Chemical Vapor Deposition System
 
            超高 純度單晶、半導(dǎo)體、 摻雜、B-doping、N-doping、藍(lán)鉆、 粉鉆、黃鉆

 

型號：BJS150， 產(chǎn)地：歐洲

主要技術(shù)指標(biāo)：

微波發(fā)生器：6 KW, 2.45GHz，脈沖功率模式可選

                  Ripple 2% at full power,

                  stability 1% at full power.

 

鐘罩型腔體：非常適合生長單晶和摻雜。 

                  支持高功率密度等離子體

工藝氣壓：高達(dá)300mbar或更高 
生長速率：高達(dá)50μm/h 

 

氣      路：4條基本氣路，分別為H2, O2, CH4, Ar;

               可以最多增加額外3條氣路

 

樣 品 臺：適合兩英寸襯底，高度精密可調(diào)，襯底旋轉(zhuǎn)可選

溫度測試：采用雙色紅外高溫計(jì)，范圍475℃-1475℃

              精度  ≤±10℃。

 

真空系統(tǒng)：采用分子泵+干泵

               真空度≤5×10-7mbar

               漏率 ≤10-9 mbar/l/s.

控制系統(tǒng)：配套有全自動控制系統(tǒng)、工業(yè)電腦、必要的數(shù)據(jù)接口及操作軟件；

              支持多級用戶權(quán)限設(shè)置和多用戶管理，系統(tǒng)支持設(shè)備的遠(yuǎn)程操作和維護(hù)；
              系統(tǒng)含故障報(bào)警及定位功能，能及時(shí)提示相應(yīng)故障部件。
              支持半自動和手動操作模式。
 
設(shè)備應(yīng)用：具備多種用途，以滿足用戶科研需要；
             適合生長雜質(zhì)濃度低于1ppb的超高純度單晶，且有大量專業(yè)科技文獻(xiàn)佐證；
             適合金剛石摻雜（硼、磷等）研究及光學(xué)級多晶窗口生長。
 
工藝培訓(xùn)：原廠工程師現(xiàn)場演示金剛石生長，包括種子選擇、種子預(yù)處理、
              種子的固定及生長工藝等培訓(xùn)，并現(xiàn)場演示單晶生長；

 

              原廠需具有高水平和豐富的金剛石生長工藝經(jīng)驗(yàn)。

 

      


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