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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司


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提供金屬膜/半導(dǎo)體膜/絕緣膜鍍膜服務(wù)

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所  在  地上海

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更新時(shí)間：2022-10-14 12:33:21瀏覽次數(shù)：97次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：87條

所在地區(qū)：上海上海

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

我們采用以下手段，可以制備各種膜！電子束蒸鍍（E-beamevaporation）：-可以蒸鍍各種金屬、非金屬材料磁控濺射鍍膜（MagnetronSputtering）：-制備各種金屬、非金屬薄膜

詳細(xì)介紹

我們采用以下手段，可以制備各種膜！

 

電子束蒸鍍（E-beam evaporation）：

-可以蒸鍍各種金屬、非金屬材料

 

磁控濺射鍍膜（Magnetron Sputtering）：

-制備各種金屬、非金屬薄膜；

-可連續(xù)沉積多層膜，包括介質(zhì)薄膜、金屬薄膜、光學(xué)薄膜

-俄歇測(cè)試發(fā)現(xiàn)，界面層和薄膜內(nèi)部含氧量極低，不到普通的磁控濺射含氧量的1/4

-可以真空800℃退火等處理；

 

高密度等離子體化學(xué)氣相沉積（PECVD）：

-制備高致密氧化硅，BOE腐蝕2.5nm/s；

-制備低應(yīng)力超厚氧化硅、氮化硅薄膜，最厚可達(dá)30um；

-制備均勻性良好的絕緣薄膜

 

金屬膜：Ni, Au, Cu, Ag, Pt, Co, Cr, Fe, Nb, W, Al, Ge, Ta, Ti, Pd, Mo等

氧化膜：SiO2, ZrO2, TiO2等

 

可接受特殊要求鍍膜服務(wù)！


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