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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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所 在 地上海
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更新時間：2022-10-15 09:26:26瀏覽次數(shù)：120次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工機械設(shè)備網(wǎng)關(guān)鍵詞：SiO2、AlN、Al2O3、介電膜、刻蝕、電子槍、離子槍、氧化鋁、氮化鋁、二氧化硅型號：MEB400S
關(guān)鍵詞：SiO2、AlN、Al2O3、介電膜、刻蝕、電子槍、
離子槍、氧化鋁、氮化鋁、二氧化硅
型號： MEB400S， 產(chǎn)地：歐洲 應(yīng)用：沉積介電薄膜（SiO2, AlN, Al2O3等）
用于介電質(zhì)膜層沉積，例如SiO2，Si3N4，Al2O3
樣品臺雙行星轉(zhuǎn)動，可加載4英寸襯底
配備Load Lock和主腔體
真空系統(tǒng)：采用低溫泵/分子泵+干泵
10kW電子束源，多槍
樣品臺可加熱
配備離子槍，可對樣品進行清理和刻蝕
配備氬氣、氮氣氣路和MFC
全自動電腦控制系統(tǒng)，半自動和手動可用
支持遠程維護、操作、監(jiān)控
典型用戶：格拉斯哥大學(xué)
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