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PicoFemto真空低溫探針臺(tái)系統(tǒng)

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PicoFemto真空低溫探針臺(tái)系統(tǒng)

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PicoFemto真空低溫探針臺(tái)系統(tǒng),可定低溫制探針臺(tái)系統(tǒng)，整套系統(tǒng)包括探針臺(tái)真空腔主體、鐵制抗震支架、進(jìn)口分子泵機(jī)組、視頻顯微鏡、探針、智能溫控儀等配置

一部分：系統(tǒng)及指標(biāo)描述

1、總體規(guī)格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）

自重：約80Kg

2、結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)

（1）真空腔體：真空度優(yōu)于6×10^-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10^-5Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）

（2）探針控制：標(biāo)配4個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜

（3）顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：0. 5X~3. 75X（使用0. 75X附加物鏡時(shí)），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦；

（4）變溫樣品臺(tái)：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K?？販胤€(wěn)定性優(yōu)于±0.01K

（5）可選配接入光纖，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖

（6）系統(tǒng)直流漏電低于1pA

3、含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀

4、設(shè)備照片（因配置不同，照片僅供參考）

二部分：真空低溫液氮探針臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)

低溫液氮探針臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)
?型號(hào)	LN-4H-06
外形	8388001355
系統(tǒng)功率	1KW
電壓	220V交流
腔體真空度	1.0*10^-⁶pa
重量	150kg
測(cè)試直徑	6/8/12寸
探針X軸行程	110mm
探針YZ行程	50mm
探針調(diào)節(jié)精度	±0.01mm
制冷方式	液氮制冷
X-Y軸額定速度	手動(dòng)調(diào)節(jié)
腔體直徑	245mm
探針臂數(shù)量	4（可選配6)
溫度下限	77K
探針臂	每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針，樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
顯微鏡倍率	0.5X~3.75（使用0.75X附加物鏡時(shí)）
地腳	底部塑膠減震地腳
探針頻率	26GHz-100GHz（可選）