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GSS602超聲掃描顯微鏡-非標(biāo)IGBT

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更新時間：2023-12-25 14:10:27瀏覽次數(shù)：89次

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上海思為儀器制造有限公司

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產(chǎn)品簡介

SHSIWIGSS602超聲掃描顯微鏡技術(shù)規(guī)格書一、基本信息超聲掃描顯微鏡（SAT）是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設(shè)備，主要利用高頻超聲波，對各類半導(dǎo)體器件、材料進(jìn)行檢測，能夠檢測出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示

詳細(xì)介紹

SHSIWI GSS602超聲掃描顯微鏡

技術(shù)規(guī)格書

一、基本信息

超聲掃描顯微鏡（SAT）是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設(shè)備，主要利用高頻超聲波，對各類半導(dǎo)體器件、材料進(jìn)行檢測，能夠檢測出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中，不會對樣品造成損傷，不會影響樣品性能，可滿足陶瓷基板、IGBT、水冷散熱器、電池、半導(dǎo)體、電器焊接件、金剛石復(fù)合材料、碳纖維復(fù)合材料等產(chǎn)品質(zhì)控需求。

1.1 產(chǎn)品名稱

超聲掃描顯微鏡

1.2 數(shù)量

1臺

1.3 規(guī)格型號

型號

機(jī)器示意圖

SHSIWI GSS602

注：上圖僅供參考，實(shí)際產(chǎn)品可能會有所差別

1.4 機(jī)電特性

機(jī)電特性	規(guī)格型號
整機(jī)尺寸	1000mm×900mm×1400mm（僅參考）
水槽尺寸	640mm×700mm×280mm
探測方式	反射式；雙C掃探頭配置
有效掃描范圍	每個C掃探頭為400mm×280mm×150mm的掃描區(qū)域，且兩個C掃區(qū)域獨(dú)立，不支持掃描結(jié)果的拼接。
掃描工作模式	支持A/B/C掃描，支持一次多層分層C掃
******掃描速度	雙通道C掃：800mm/s
圖像推薦分辨率	1～4000um
重復(fù)定位精度	X≤±0.003mm,Y≤±0.01mm
支持頻率范圍	10~230MHz
上下水	水壓注水，水泵排水。

二、廠務(wù)安裝條件

2.1 設(shè)備尺寸

設(shè)備整機(jī)尺寸1000mm（長）×900mm（寬）×1400mm（高）。安裝方案基于空間占用最小化和維護(hù)/服務(wù)條件化的需要，保證在設(shè)備周圍留有500mm的空間，可以方便工作人員進(jìn)行操作、維護(hù)。

2.2 電腦桌

設(shè)備配有電腦桌，用于安放鼠標(biāo)、鍵盤及顯示器。用戶也可自行配備。

2.3 電力供應(yīng)

工作電源：220V±10%/50Hz，1~2KW另外，設(shè)備配有UPS電源，以保護(hù)設(shè)備運(yùn)行安全。

2.4 水源：

設(shè)備需要自來水、去離子水或者純凈水，并且需要定期更換。水溫要求：15～30℃

2.5 環(huán)境相對濕度：35℃≤50％RH

2.6 環(huán)境溫度要求：20～35℃

2.7 周邊環(huán)境：

不要放在強(qiáng)磁場、電磁波和產(chǎn)生高頻設(shè)備的旁邊。

減少振動。10Hz以下振動的******振幅 0.7μm PP以下。

灰塵少、濕氣少，沒有腐蝕性氣體的地方。

電源的變化，限制到最小。

為了防止地震的損壞，四周一定要固定。

三、設(shè)備主要配置表

序號	名稱	規(guī)格
1	掃描系統(tǒng)	X軸：超高性能線性馬達(dá)，具有內(nèi)置磁力機(jī)構(gòu)，配合精度0.1um 精度線性光柵尺精確定位； Y軸：絲桿模組； Z軸：步進(jìn)馬達(dá)系統(tǒng)，一前一后各有 1 個 Z 軸, 可分別單獨(dú)對焦
2	超聲探頭	根據(jù)IGBT常用探頭：配備50MHz1.0in2顆，25MHZ2.0in2顆
3	超聲發(fā)射、接收器	帶寬500MHz
4	高速數(shù)據(jù)采集卡	采樣頻率 1GHz
5	工控機(jī)	Intel 12核處理器 i7-12700，16GB*2 內(nèi)存，2T +256SSD硬盤，Windows 10-64 位操作系統(tǒng)，USB 及網(wǎng)絡(luò)接口
6	顯示器	兩個27"液晶顯示器
7	檢測軟件	思為超聲無損檢測軟件V2.0

四、IGBT模塊多層結(jié)構(gòu)檢測能力

測量能力	能力描述
標(biāo)準(zhǔn)塊測量誤差	測量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊，在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下，超聲檢測多次測量誤差在±1%。
多層掃描方式	具備多層掃描功能，可一次性掃描底板-DBC焊接層、DBC下銅層-DBC陶瓷結(jié)合層、DBC陶瓷-DBC上銅層、DBC上銅層-芯片焊接層、芯片-樹脂結(jié)合層缺陷。最多可同時掃描50層。
雙觸發(fā)模式	可選擇設(shè)置雙觸發(fā)模式，減少焊料層厚度變化導(dǎo)致的數(shù)據(jù)門偏離目標(biāo)波形。
缺陷識別能力	在測量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi)，被測材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下，且超聲入射表面為平面的被測產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識別能力為0.15毫米（15MHz、25MHz探頭）和0.07毫米（50MHz探頭）。
缺陷著色與統(tǒng)計功能	可自由設(shè)置缺陷著色閾值對缺陷進(jìn)行著色處理，根據(jù)著色效果，統(tǒng)計單一缺陷面積和整體缺陷面積及缺陷占比。
定制服務(wù)	可根據(jù)客戶要求定制IGBT防水治具。

五、軟件功能

軟件功能	功能描述
手動掃描	可以通過手動的方式生成C掃描圖像，反映被檢焊接結(jié)合面結(jié)合情況，并以釬著率、缺陷面積等數(shù)值的形式顯示檢測結(jié)果。
探頭與C掃圖像對位	可通過點(diǎn)擊C 掃圖的具體像素點(diǎn)將探頭移至與實(shí)際被檢工件相對應(yīng)的位置。
手動分析	對生成的C掃圖片可以進(jìn)行各種編輯，包括加框（確認(rèn)有效分析區(qū)域），測距，修改閾值，圖片剪裁，弧面補(bǔ)償?shù)取?/span>
多種掃描模式	（1） A掃描：查看超聲反射或透射波形；（2） B掃描：對某一截面內(nèi)的超聲波信號，以灰度或彩色的形式顯示在二維平面內(nèi)，橫坐標(biāo)代表掃查機(jī)構(gòu)的位移方向，縱坐標(biāo)代表超聲波傳播的深度方向，反映缺陷在樣品內(nèi)的相對深度信息；（3） C掃描：對某一深度的截面進(jìn)行掃描，是X-Y二維平面內(nèi)移動并選取A掃描特定深度的點(diǎn)的信號成像，顯示的是水平截面的缺陷信息；（4）區(qū)域掃描：可自定義檢測區(qū)域，并對檢測區(qū)域進(jìn)行掃描；（5）批量掃描：對放置于水槽中的一種或多種工件進(jìn)行自動檢測；（6）一次多層掃：同時掃描≤50層。
報告自動生成	可對檢測結(jié)果自動進(jìn)行編輯并輸出報告文檔。
探頭管理	可對不同型號探頭進(jìn)行更換或編輯。
一鍵自動校準(zhǔn)	可自動對檢測設(shè)備坐標(biāo)偏移及檢測系統(tǒng)能量變化，能實(shí)時校準(zhǔn)系統(tǒng)漂移，保證檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)度	系統(tǒng)自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測用鋼對比試塊的制作與校驗(yàn)方法》的不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊。認(rèn)定該不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊的超聲反射強(qiáng)度=100 STSS（“STainless Steel Standard"的縮寫），其他所有材料的檢測相對于STSS做換算。
缺陷檢測能	焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區(qū)域和良好區(qū)域。可對缺陷尺寸和面積進(jìn)行自動統(tǒng)計和計算。也可根據(jù)客戶的要求，提供有償定制開發(fā)服務(wù)。
聲速檢測	聲音在被測材質(zhì)中的飛行速度檢測。

六、標(biāo)準(zhǔn)材料聲速表

材料		聲速（m/s）
鋁	Aluminum	6305
鋼	Steel,common	5920
不銹鋼	Steel,stainless	5740
黃銅	Brass	4399
銅	Copper	4720
鐵	Iron	5930
銀	Sliver	3607
金	Gold	3251
鈦	Titanium	5990
聚氯乙烯	PVC	2388
樹脂	resin	4076
金剛石	diamond	14000
鋅	zinc	4170
有機(jī)玻璃	Organic glass	2730
陶瓷	ceramic	5842
錫	tin	3230
水	water	1500