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桌面式主動隔振光學(xué)平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series

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產(chǎn)品型號TS Series

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更新時間:2022-12-07 17:29:48瀏覽次數(shù):179次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

在21世紀(jì)的納米技術(shù) (如代表信息相關(guān)技術(shù)的*半導(dǎo)體,聲明科學(xué)相關(guān)技術(shù),如基因治療,原子或分子處理,如MEMS和新材料生成等工程技術(shù)),振動,噪音,電磁場,熱量,濕度,干擾等等將是測量環(huán)境的制約因素。在納米技術(shù)中,為取得可靠的結(jié)果,難以使用氣浮臺隔振的低頻范圍,需要主動隔振。桌面式主動隔振光學(xué)平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ),將有助于促進(jìn)當(dāng)前技術(shù)和測量,創(chuàng)新和發(fā)展未知技術(shù)。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 寬范圍內(nèi)可在所有六個自由度上提供出色的主動隔振性能。

詳細(xì)介紹

簡述:

在21世紀(jì)的納米技術(shù) (如代表信息相關(guān)技術(shù)的半導(dǎo)體,聲明科學(xué)相關(guān)技術(shù),如基因治療,原子或分子處理,如MEMS和新材料生成等工程技術(shù)),振動,噪音,電磁場,熱量,濕度,干擾等等將是測量環(huán)境的制約因素。在納米技術(shù)中,為取得可靠的結(jié)果,難以使用氣浮臺隔振的低頻范圍,需要主動隔振。

桌面式主動防振臺-Herz TS Series主動隔振系統(tǒng)將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ),將有助于促進(jìn)當(dāng)前技術(shù)和測量,創(chuàng)新和發(fā)展未知技術(shù)。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 寬范圍內(nèi)可在所有六個自由度上提供出色的主動隔振性能。

桌面式主動隔振光學(xué)平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series

工作原理:

桌面式主動隔振光學(xué)平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series采用的隔振技術(shù),可以隔離6個空間方向的振動(包括水平方向和垂直方向),TS 系列主動隔振臺利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,隨后壓電換能器將產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等,方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振。

產(chǎn)品特征:

  • 三個維度六個自由度主動隔振 0.7 Hz -1000 Hz
  • 高度調(diào)節(jié)將在負(fù)載儀器時自動啟用
  • 即使負(fù)載偏離中心,自動調(diào)平功能將保持水平,可在負(fù)載高重心儀器時提供穩(wěn)定性。
  • 只需按壓前面的按鍵即可鎖定和解鎖系統(tǒng)。鎖定系統(tǒng)可防止搬運(yùn)或運(yùn)輸過程中發(fā)生損壞。
  • 顯示屏顯示 X, Y 和 Z 方向上的實(shí)際振動水平。
  • 通過使用遙控盒,也可從外部啟動或關(guān)閉主動隔振。

注:TS 系列也可用作振動器。可選配外部激勵器盒,但需市售功能發(fā)生器和BNC 電纜。

搭載設(shè)備

  • 掃描電子顯微鏡,如AFM
  • 三維表面輪廓儀
  • 激光顯微鏡
  • 激光干涉儀
  • 液體表面張力測量系統(tǒng)
  • 顯微硬度測量儀器
  • 醫(yī)療檢查設(shè)備等

性能對比(TS-150/LP

– 振動加速度對比

右側(cè)數(shù)據(jù)顯示TS-150/LP的隔振性能,水平(X, Y) 和垂直(Z)。

藍(lán)線: 地面振動加速度

紅線: TS-150/LP表面安裝板加速度

– 振動傳遞率

右側(cè)數(shù)據(jù)顯示地面到TS-150/LP表面安裝板的振動傳遞率,水平(X, Y) 和垂直(Z)。

垂直軸: 傳遞率,單位:dB

(20 dB = x 10、0 dB = x 1、-20 dB = x 0.1、 -40 dB = x 0.01、-60 dB = x 0.001)

該數(shù)據(jù)表明主動隔振系統(tǒng)在1 Hz -100 Hz 低頻范圍內(nèi)具有優(yōu)異的隔振性能。

桌面式主動隔振光學(xué)平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series技術(shù)參數(shù):

桌面式主動隔振光學(xué)平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series 技術(shù)參數(shù)

結(jié)合隔音箱,創(chuàng)造測量環(huán)境

對于原子或分子研究,如掃描電子顯微鏡, TS系列主動隔振系統(tǒng)至關(guān)重要。此外,不僅要考慮振動,還應(yīng)考慮聲學(xué)抑制。我們所生產(chǎn)的AEk 隔音箱適用于超高分辨率應(yīng)用,如SPM。將 AEk和TS系列整合可提供的測量環(huán)境。

桌面式主動隔振光學(xué)平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series + 隔音箱

搭配 AEK-2002 隔音箱:AEK系統(tǒng)采用多層可變密度隔聲材料層,可有效隔離寬頻帶噪聲。

TS 應(yīng)用示例

桌面式主動隔振光學(xué)平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series 應(yīng)用圖

標(biāo)簽:HerzTable stableTS系列主動防振臺主動隔振臺傳感器光學(xué)平臺氣浮臺防振臺隔振隔振臺隔振系統(tǒng)隔音箱

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