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MPG40x 大氣壓至超高真空真空計

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更新時間：2023-01-10 15:54:43瀏覽次數(shù)：196次

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英?？担◤V州）真空儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

好處

復(fù)合真空計 – 倒磁控管和皮拉尼
從 5 X 10^-9 mbar 至大氣氣壓的寬廣測量范圍
不會出現(xiàn)絲極燒毀的現(xiàn)象
的點(diǎn)火屬性
易于清潔
FPM 或金屬密封饋入裝置
LED 指示器，高壓時亮起
對數(shù)模擬輸出信號

典型應(yīng)用

高真空壓力監(jiān)控
蒸發(fā)鍍?yōu)R系統(tǒng)基本壓力
中真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

規(guī)格

類型		MPG400 FPM sealed	MPG401 metal-sealed
測量范圍（空氣，N₂）		5 x 10^-9 … 1000	5 x 10^-9 … 1000
精度 (N₂)
1 x 10^-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±30%	≈±30%
可重復(fù)性
1 x 10^-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±5%	≈±5%
安裝定位		any	any
容許壓力	bar (absolute)	≤10 (limited to inert gases)	≤10 (limited to inert gases)
容許溫度
運(yùn)行（環(huán)境）	°C	+5 … +55	+5 … +55
貯存	°C	–40 … +65	–40 … +65
烘烤 (1)	°C	150	150
單絲溫度（皮拉尼）	°C	120	120
電源電壓
真空計上	V (dc)	+15 … +30	+15 … +30
纜線最長的電源裝置 (2)	V (dc)	+16 … +30	+16 … +30
波紋	V (p-p)	≤1	≤1
功耗	W	≤2	≤2
可連接的保險絲	AT	≤1	≤1
輸出信號（測量信號）
電壓范圍	V	0 … +10.5	0 … +10.5
測量范圍	V	+1.82 … +8.6	+1.82 … +8.6
電壓與壓強(qiáng)		logarithmic, 0.6 volts per decade	logarithmic, 0.6 volts per decade
錯誤信號
無電源	V	<>	<>
皮拉尼傳感器，單絲斷裂	V	>9.5	>9.5
輸出電阻	?	2 x 10	2 x 10
最小負(fù)載電阻	k?	10, short-circuit proof	10, short-circuit proof
反應(yīng)時間
p > 10^-6 毫巴	ms	<>	<>
p = 10^-8 毫巴	ms	≈1000	≈1000
識別真空計		85, referenced to supply common	85, referenced to supply common
狀態(tài)
僅皮拉尼模式	V	0 (low)	0 (low)
復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式	V	15 … 30 (high)	15 … 30 (high)
LED	LED green	high voltage on	high voltage on
電氣連接		FCC 68 appliance connector, 8 poles, female	FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
傳感器電纜		8 poles plus shielding	8 poles plus shielding
電纜長度	m	≤50 (8 x 0.14 mm²)	≤50 (8 x 0.14 mm²)
運(yùn)行電壓	kV	≤3.3	≤3.3
運(yùn)行電流	µA	≤500	≤500
暴露于真空的材料		stainless steel, Al₂O₃, FPM75, Mo, Ni, Au, W	stainless steel, Al₂O₃, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
內(nèi)部容積	cm³	≈20	≈20
重量
DN 25 ISO-KF	g	≈700	≈730
DN 40 ISO-KF	g	≈720	≈750
DN 40 CF-F	g	≈980	≈1010
保護(hù)類別		IP 40	IP 40
標(biāo)準(zhǔn)
CE 合規(guī)		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1	EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1）沒有電子元件和磁屏蔽。

2）電源單元的最小電壓必須與傳感器電纜的長度成比例地增加。

零件號

MPG400 FPM sealed
零件號	明細(xì)
351-010	MPG400 真空計
351-011	MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012	MPG400 DN 40 CF-F
MPG401 metal-sealed
零件號	明細(xì)
351-020	MPG401 DN 25 ISO-KF
351-021	MPG401 DN 40 ISO-KF
351-022	MPG401 DN 40 CF-F
351-023	磁屏蔽

附件

MPG400 FPM sealed
零件號	明細(xì)
351-023	磁屏蔽
MPG401 metal-sealed
零件號	明細(xì)
351-023	磁屏蔽

備件

MPG400 FPM sealed
零件號	明細(xì)
BN846469-T	Spare measurement system MPG400
BN846470-T	Spare measurement system MPG400 DN40 KF
BN846471-T	Spare measurement system MPG400 DN40CF-F
351-994	MPG40X 點(diǎn)火單元
351-995	起輝器
351-998	維修包
351-999	維修保養(yǎng)套件
MPG401 metal-sealed
零件號	明細(xì)
BN846472-T	Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF
BN846473-T	Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF
BN846474-T	Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F
351-994	MPG40X 點(diǎn)火單元
351-995	起輝器
351-996	MPG401 Repair set
351-997	MPG401 Maintenance set