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JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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更新時間：2023-03-31 10:19:08瀏覽次數(shù)：177次

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產(chǎn)品簡介

JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡，實(shí)現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進(jìn)一步提升，采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。

詳細(xì)介紹

JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

· 的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。

產(chǎn)品規(guī)格：

產(chǎn)品特點(diǎn)：

的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。

此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。主要特點(diǎn)如下：

◇ 半浸沒式物鏡

半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場，因而可以獲得超高分辨率。

◇ High Power Optics

High Power Optics 是的電子光學(xué)系統(tǒng)，既實(shí)現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍（FEG）的探針電流，光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時也能保持小束斑，兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng)，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍銃

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合，可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。

光闌角控制鏡（ACL）

光闌角控制鏡（ACL）配置在物鏡的上方，在整個探針電流范圍內(nèi)自動優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此，即使照射樣品的探針電流很大，與傳統(tǒng)方式相比，也能獲得很小的電子束斑。

即使探針電流很大，束斑直徑也很小

長時間分析時穩(wěn)定度也很高

浸沒式消特基場發(fā)射電子槍能獲得穩(wěn)定的電子探針

◇ 柔和電子束（GB:GENTLEBEAM^TM）模式

柔和的電子束模式（GB模式）通過給樣品添加負(fù)電壓，從而使電子束在即將撞擊樣品之前降低著陸電壓，因此可以在低加速電壓下（100V）進(jìn)行高分辨觀察。

由于電子束在樣品中散射區(qū)域減小，就會容易地觀察樣品淺表面的精細(xì)結(jié)構(gòu)，能減少對熱敏樣品的的損傷，可以直接觀察非導(dǎo)電性樣品。

JSM-7610Plus 在GB模式下（1KV）的分辨率為1.0nm

GB 模式的效果

GB 模式在低電壓下提高分辨率

左圖一般模式，右圖GB模式

增強(qiáng)了的低加速電壓下的分辨率

◇ r-過濾器

新一代 r-過濾器是由二次電子控制電極，背散射電子控制電極，過濾器電極組合而成的的能量過濾器。當(dāng)電子束照射樣品時，從樣品表面會釋放出各種能量的電子，新一代r-過濾器 通過組合多個靜電場使電子束保持在透射系統(tǒng)的，同時還對樣品中產(chǎn)生的二次樣品和背散射電子進(jìn)行選樣和檢測。

新新一代 r-過濾器最多能獲得3倍于舊機(jī)型的信號量。