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MEMS二氧化氮?dú)怏w傳感器GM-102B產(chǎn)品詳情MEMS二氧化氮?dú)怏w傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料
產(chǎn)品詳情
MEMS 二氧化氮?dú)怏w傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時(shí)傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
傳感器特點(diǎn)
本品采用MEMS工藝，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，對(duì)二氧化氮靈敏度高；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動(dòng)電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等優(yōu)點(diǎn)。
主要應(yīng)用
便攜式與固定式二氧化氮檢測儀。
技術(shù)指標(biāo)
| 產(chǎn)品型號(hào) | GM-102B | ||
| 產(chǎn)品類型 | MEMS二氧化氮?dú)怏w傳感器 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)封裝 | 陶瓷封裝 | ||
| 檢測氣體 | 二氧化氮 | ||
| 檢測濃度 | 0.1-10ppm(NO2) | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)電路條件 | 回路電壓 | Vc | ≤24V DC |
| 加熱電壓 | VH | 2.0V±0.1V ACorDC | |
| 負(fù)載電阻 | RL | 可調(diào) | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測試條件下氣敏元件特性 | 加熱電阻 | RH | 80Ω±20Ω（室溫） |
| 加熱功耗 | PH | ≤40mW | |
| 敏感體表面電阻 | Rs | 10KΩ-1000KΩ(in 2ppm NO2) | |
| 靈敏度 | S | Ro(in air)/Rs(in 2ppm NO2)≤0.5 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測試條件 | 溫度、濕度 | 20℃±2℃；55%±5%RH | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測試電路 | Vc:5.0V±0.1V； VH:2.0V±0.1V | ||
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