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行業(yè)產(chǎn)品

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濟(jì)寧科強(qiáng)超聲檢測(cè)儀器有限公司


硅片超聲波清洗機(jī)

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更新時(shí)間:2023-07-27 20:53:38瀏覽次數(shù):65次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

1.硅片超聲波清洗機(jī)是超聲波清洗機(jī)在電子行業(yè)的常見(jiàn)應(yīng)用產(chǎn)品,目前應(yīng)用廣泛的硅片超聲清洗產(chǎn)品多為分體單槽超聲波清洗機(jī)

詳細(xì)介紹

 1.硅片超聲波清洗機(jī)是超聲波清洗機(jī)在電子行業(yè)的常見(jiàn)應(yīng)用產(chǎn)品,目前應(yīng)用廣泛的硅片超聲清洗產(chǎn)品多為分體單槽超聲波清洗機(jī)。

 2.硅片為什么需要超聲波清洗?

半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中玻璃硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗,即使是微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。

清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。

有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維。

無(wú)機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,引起嚴(yán)重漏電。

顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等,會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。

 3.KQ系列分體單槽硅片超聲波清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

發(fā)生器體積(mm)

清洗槽容積(mm)

頻率(KHz)

功率

加熱

KQ -1000

430×380×160

460×390×280

20

25

40

1000

無(wú)

KQ -1000Q

430×380×160

460×390×280

20

25

40

1000

KQ -1200

430×380×160

580×360×250

20

25

40

1200

無(wú)

KQ -1200Q

430×380×160

580×360×250

20

25

40

1200

KQ -1500

430×380×160

650×420×250

20

25

40

1500

無(wú)

KQ -1500Q

430×380×160

650×420×250

20

25

40

1500

KQ -1800

430×380×160

700×450×280

20

25

40

1500

無(wú)

KQ -1800Q

430×380×160

700×450×280

20

25

40

1500

KQ -2000

430×380×160

740×500×280

20

25

40

2000

無(wú)

KQ -2000Q

430×380×160

740×500×280

20

25

40

2000

KQ -3500

460×420×180

按要求加工

20

25

40

3500

無(wú)

KQ -5000

460×420×180

按要求加工

20

25

40

5000

無(wú)

KQ -10000

按要求加工

按要求加工

20

25

40

10000

無(wú)

注:可以根據(jù)客戶(hù)要求加工定做多槽式超聲波清洗機(jī),配置粗洗,精洗,熱風(fēng)烘干功能

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