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三維輪廓儀-接觸式

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

三維輪廓儀-接觸式儀器簡(jiǎn)介:接觸式三維輪廓儀、臺(tái)階儀(3Dsurfaceprofilometer)該系統(tǒng)利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測(cè)技術(shù)和超平整參照面-大型樣品臺(tái)掃描技術(shù),并與壓電陶瓷(PZT)掃描結(jié)合,可以再不喪失精度的情況下,即得到超大樣品整體三維輪廓圖,又呈現(xiàn)局部三維形貌像

詳細(xì)介紹

三維輪廓儀-接觸式

儀器簡(jiǎn)介:
接觸式三維輪廓儀、臺(tái)階儀(3D surface profilometer)                

該系統(tǒng)利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測(cè)技術(shù)和超平整參照面-大型樣品臺(tái)掃描技術(shù),并與壓電陶瓷(PZT)掃描結(jié)合,可以再不喪失精度的情況下,即得到超大樣品整體三維輪廓圖,又呈現(xiàn)局部三維形貌像。其中樣品臺(tái)掃描參考平面使用超高平坦度光學(xué)拋光平臺(tái),有效解決了以往樣品臺(tái)掃面,由于絲杠公差引起的測(cè)試結(jié)果有亞微米量級(jí)的誤差。

三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,臺(tái)階高度,二維粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三維粗糙度(Sa,Sq,Smax),劃痕截面面積,劃痕體積,磨損面積,磨損體積,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測(cè)量。擺脫了以往只能得到二維信息,或三維信息過(guò)于粗糙的現(xiàn)狀。將輪廓儀帶入了另一個(gè)高精度測(cè)量的新時(shí)代。

主要特點(diǎn):

1、常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的結(jié)合
2、雙模式操作(針尖掃描和樣品臺(tái)掃描),即使在長(zhǎng)程測(cè)量時(shí)也可以得到化的小區(qū)域三維測(cè)圖
3、針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式,三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍到50mm。
4、在掃描過(guò)程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察
5、針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,同時(shí)擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍(至500μm)及亞納米級(jí)垂直分辨率?。ㄗ钚。?1nm )
6、軟件設(shè)置恒定微力接觸
7、簡(jiǎn)單的2步關(guān)鍵操作,友好的軟件操作界面

產(chǎn)地:美國(guó)AEP公司

 

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