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場發(fā)射掃描電鏡SIGMA 300

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產(chǎn)品型號SIGMA 300

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更新時間：2025-03-10 07:56:55瀏覽次數(shù)：2次

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上海洛豐精密檢測儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

蔡司公司推出Sigma300場發(fā)射掃描電鏡采用成熟的GEMINI光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計，將低電壓成像技術(shù)發(fā)揮到了很大，采用適宜的探針電流范圍，降低50%的信噪比從而提升了85%的襯度信息。Sigma300將高級的分析性能與場發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合，多種探測器可選：用于顆粒、表面或者納米結(jié)構(gòu)成像。Sigma自動的四步工作流程節(jié)省了設(shè)置與分析操作的時間，提高效率。

詳細(xì)介紹

用于清晰成像的靈活探測：

◆利用探測術(shù)為您的需求定制 Sigma，表征所有樣品。

◆利用 in-lens 雙探測器獲取形貌和成份信息。

◆利用新一代的二次探測器，獲取高達(dá)50%的信號圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創(chuàng)新的 C2D 和可變壓力探測器，在低真空環(huán)境下獲取高達(dá)85%對比度的銳利的圖像。

自動化加速工作流程：

◆4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶環(huán)境中，從快速成像和節(jié)省培訓(xùn)首先，先對樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。

◆首先，先對樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。

◆接下來對樣品感興趣的區(qū)域進(jìn)行優(yōu)化并自動采集圖像。最后使用工作流程的步，將結(jié)果可視化。

高級分析型顯微鏡：

◆將掃描電子顯微鏡與基本分析相結(jié)合：Sigma 的背散射幾何探測器大大提升了分析性能，特別是對電子束敏感的樣品。

◆在一半的檢測束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)。

◆8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角，獲取完整且無陰影的分析結(jié)果。

靈活的檢測器選項，獲取清晰圖像：

◆使用新穎的ETSE和Inlens探測器在高真空下獲取高分辨率表面形貌信息。

◆使用VPSE或C2D檢測器在可變壓力模式下獲得清晰圖像。

◆使用aSTEM檢測器生成高分辨率透射圖像。

◆使用HDBSD或YAG檢測器分析成分。

技術(shù)參數(shù)：

分辨率：	1.0nm@30kV STEM	1.0nm @15 kV	1.8nm @1kV
加速電壓	0.02—30KV
放大倍數(shù)	10—1000000x
探針電流	調(diào)整范圍：0.02-30 kV（無需減速模式實現(xiàn)）
X-射線分析工作距離	8.5mm 35度接收角
低真空壓力范圍	2-133Pa （Sigma 300VP可用）
工作室	365 mm（φ），275mm（h）
5軸優(yōu)中心自動樣品臺	X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10°- 90°R=360°連續(xù)
系統(tǒng)控制	基于Windows 7 的SmartSEM操作系統(tǒng)
存儲分辨率	32,000 x 24,000 pixels