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超高精度的表面和形狀測(cè)量?jī)xPGI400/800/1200

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上海洛豐精密檢測(cè)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

自20世紀(jì)30年代推出Talysurf 1開始，Taylor Hobson就以其創(chuàng)新性和精益求精的精神在業(yè)界保持地位。Form Talysurf于1984年推出，這是臺(tái)能同時(shí)測(cè)量表面結(jié)構(gòu)、形狀和輪廓的儀器，并成為精密產(chǎn)品制造商的儀器。Form Talysurf PGI繼承了該系列的優(yōu)良傳統(tǒng)，可為您提供測(cè)量精度和完整性。

詳細(xì)介紹

特點(diǎn):

出色的測(cè)量范圍和分辨率

◆憑借高達(dá)12.5mm的垂直傳感器測(cè)量范圍（標(biāo)準(zhǔn)60mm測(cè)針）和 0.8nm的分辨率，使得PGI儀器不但具有滿足各種測(cè)量形狀和輪廓的測(cè)量要求，還能提供測(cè)量表面粗糙度所需的分辨率。
獲得的標(biāo)定技術(shù)
◆采用標(biāo)定技術(shù)，可以一次測(cè)量全自動(dòng)完成全量程系統(tǒng)標(biāo)定，簡(jiǎn)單、快速及準(zhǔn)確。直觀的數(shù)值和圖形顯示，使用戶可以確信校準(zhǔn)結(jié)果和后續(xù)測(cè)量結(jié)果正確無誤。

200mm驅(qū)動(dòng)箱，直線度為0.125μm

◆高精度的直線度減少測(cè)量系統(tǒng)疊加在工件真實(shí)表面造成得儀器誤差。經(jīng)過精密配衍加工基準(zhǔn)軸為所有輪廓測(cè)量提供基準(zhǔn)；

0.125μm高密度橫向數(shù)據(jù)間隔
◆實(shí)現(xiàn)零件輪廓的精確再現(xiàn)離不開高密度的數(shù)據(jù)采集。憑借值為 1,600,000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)和0.125μm的數(shù)據(jù)間隔，大型和小型零件均能得到非常精確的測(cè)量結(jié)果。

低系統(tǒng)噪音 (2nm)

◆低噪音的完整系統(tǒng)提供了此類型儀器無法超越的粗糙度測(cè)量功能

450mm機(jī)動(dòng)立柱

◆機(jī)動(dòng)立柱可提供高精密位置控制以及大尺寸工件測(cè)量能力。可通過操縱桿手動(dòng)控制，也可以通過計(jì)算機(jī)執(zhí)行全面的系統(tǒng)編程。

技術(shù)參數(shù):

水平軸性能	400	800	1200
驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度X/最小	120毫米/0.1毫米	200毫米/0.1毫米
測(cè)量速度	0.1毫米/秒, 0.25毫米/秒,0.5毫米/秒和1毫米/秒
驅(qū)動(dòng)速度	0.1-10毫米/ 秒
X軸數(shù)據(jù)采樣間隔	120毫米長(zhǎng)度上0.125微米	200毫米長(zhǎng)度上0.125微米
數(shù)據(jù)點(diǎn)	960,000	1,600,000
直線度誤差[Pt](X=長(zhǎng)度)	0.35微米/120毫米	0.35微米/200毫米	125納米/200毫米
基準(zhǔn)面校正	可選	可選	可選
垂直性能	400	800	1200
標(biāo)稱量程(Z)	4毫米[60毫米測(cè)桿]	8毫米[60毫米測(cè)桿]	12.5毫米[60毫米測(cè)桿]
分辨率(Z)	12.8納米@4毫米范圍	3.2納米@8毫米范圍	0.8納米@12.5毫米范圍
量程與分辨率之比	312,500:1	2,500,000:1	15,625,000:1
測(cè)桿長(zhǎng)度，針尖尺寸，測(cè)量力	臂長(zhǎng)60毫米,金剛石測(cè)針半徑2微米,力度1mN，120毫米arm,0.5毫米半球,力度20mN
Z軸非線性(Z=傳感器位移)	(0.07+0.03Z[毫米])微米-校正后
Z軸重復(fù)性(平面表面，金剛石測(cè)針)	0.1微米		0.15微米
Z軸重復(fù)性(彎曲表面-金剛石測(cè)針)	0.8微米		0.16微米
Z軸重復(fù)性(彎曲表面-球形測(cè)針)	0.12微米
系統(tǒng)性能	400	800	1200
校正值Pt	0.15微米		0.2微米
人工校準(zhǔn)球[精度]	80毫米標(biāo)稱半徑校準(zhǔn)玻璃標(biāo)準(zhǔn)器[5微米]
系統(tǒng)噪音-Rq	典型值5納米	典型值3納米	典型值2納米
半徑測(cè)量不確定性	0.1-80毫米=標(biāo)稱值的1到0.005%，80-1000毫米=標(biāo)稱值的0.005到0.1%，1000-2000毫米=標(biāo)稱值的0.1%
傾角測(cè)量不確定性	0.5弧分不確定性(+/-35°范圍)
大小（長(zhǎng)x寬x高）	900x880x1750毫米
機(jī)動(dòng)立柱	450毫米垂直移動(dòng)