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螺桿式真空泵

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更新時間：2024-04-30 10:00:43瀏覽次數(shù)：38次

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淄博紫泰真空設(shè)備有限公司

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聯(lián)系人：李光晨

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產(chǎn)品簡介

螺桿式真空泵產(chǎn)品說明　　螺桿式真空泵主要由螺桿轉(zhuǎn)子、殼體、齒輪、冷卻循環(huán)和密封件構(gòu)成

詳細(xì)介紹

　　螺桿式真空泵產(chǎn)品說明

　　螺桿式真空泵主要由螺桿轉(zhuǎn)子、殼體、齒輪、冷卻循環(huán)和密封件構(gòu)成。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子，通過高精度的同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)。同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。一對旋向相反.由泵的兩端蓋的軸承支撐旋轉(zhuǎn)的螺桿，將被抽氣體吸入，通過氣體吸入.壓縮.排氣三個過程，達(dá)到抽氣的目的。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式真空泵的替代產(chǎn)品。

　　螺桿式真空泵分為等螺距和變螺距干式羅桿真空泵，螺桿式真空泵設(shè)計緊湊，運行高效，螺桿與軸一體加工。干式螺桿真空泵腔內(nèi)無水無油，直通氣路設(shè)計，該系列泵可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體。

　　干式螺桿真空泵的典型應(yīng)用：

　　? 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝、半導(dǎo)體刻蝕工藝

　　? 在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等

　　? 用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染

　　? 化學(xué)和醫(yī)藥流程

　　? 溶劑回收

　　? 成型、結(jié)晶、干刻、濺鍍、蒸氣回收、空中模擬

　　干式螺桿真空泵的特點、優(yōu)點：

　　干式螺桿真空泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr(1.3mbara)，極限真空可達(dá)0.01Torr(0.013mbara)在運轉(zhuǎn)過程中沒有油或水，泵腔無部分接觸，短氣通道可以使泵迅速排放，直接驅(qū)動或V皮帶有加長的轉(zhuǎn)子，操作安靜----低于85分貝。干式螺桿真空泵腔內(nèi)無水無油，直通氣路設(shè)計，該系列泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內(nèi)的氣體。

　　主要特點：

　　沒有油或水和過程氣體接觸

　　運行部件之間無金屬相互接觸

　　簡單緊固的設(shè)計可以處理工作時產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體，冷凝物甚至微小顆粒

　　節(jié)省空間的設(shè)計除去了防護(hù)裝置的需要

　　泵內(nèi)氣通道較短，氣體排放更迅速

　　即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)

　　ZT-LG3主要性能參數(shù)

型號	ZT-40LG3	ZT-80LG3		ZT-120LG3		ZT-180LG3		ZT-300LG3		ZT-360LG3
抽氣速率（L/s）	40	80		120		180		300		360
極限壓力（mbar）	0.5	0.5		0.5		0.5		0.5		0.5
排氣壓力（bar）	1.3	1.3		1.3		1.3		1.3		1.3
電機(jī)功率（kW）	4	7.5		11		18.5		30		37
轉(zhuǎn)速（r/min）	2890	2900		2900		2930		2900		2900
吸氣口直徑（mm）	DN40	DN50		DN80		DN100		DN125		DN150
排氣口直徑（mm）	DN30	DN40		DN65		DN80		DN100		DN125
齒輪腔用油量（L）	1.3	1.6		2.2		4		10		12
冷卻水用量（L/h）	120	210		380		600		820		1000
冷卻水允許壓力（MPa）	0.6	0.6		0.6		0.6		0.6		0.6
冷卻氣體量（m3/h）	18	25		28		30		36		40
吸氣端密封類型	骨架油封
排氣端密封類型	骨架油封
軸伸處密封類型	骨架油封
噪聲（dB）	82		85		85		85		85		85
重量（kg）	230		322		395		550		860		1080

　　ZT-LG4主要性能參數(shù)

型號	ZT-40LG4	ZT-80LG4		ZT-120LG4		ZT-180LG4		ZT-300LG4		ZT-360LG4
抽氣速率（L/s）	40	80		120		180		300		360
極限壓力（mbar）	0.1	0.1		0.1		0.1		0.1		0.1
排氣壓力（bar）	1.3	1.3		1.3		1.3		1.3		1.3
電機(jī)功率（kW）	4	7.5		11		18.5		30		37
轉(zhuǎn)速（r/min）	2890	2900		2900		2930		2900		2900
吸氣口直徑（mm）	DN40	DN50		DN80		DN100		DN125		DN150
排氣口直徑（mm）	DN30	DN40		DN65		DN80		DN100		DN125
齒輪腔用油量（L）	1.3	1.6		2.2		4		10		12
冷卻水用量（L/h）	120	210		380		600		820		1000
冷卻水允許壓力（MPa）	0.6	0.6		0.6		0.6		0.6		0.6
冷卻氣體量（m3/h）	18	25		28		30		36		40
吸氣端密封類型	骨架油封
排氣端密封類型	骨架油封
軸伸處密封類型	骨架油封
噪聲（dB）	82		85		85		85		85		85
重量（kg）	230		322		395		550		860		1080