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持久型小型濺射儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地鄭州市

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更新時間:2025-01-07 15:40:08瀏覽次數(shù):25次

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產(chǎn)品簡介

持久型小型濺射儀,石英玻璃腔體,濺射距離可調(diào)節(jié),外接水冷機可持久濺射,觸摸屏控制,濺射時間工藝記憶儲存。

詳細(xì)介紹

持久型小型濺射儀

一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料,且具有設(shè)備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優(yōu)點,

     磁控濺射法更是實現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因為是在低氣壓下進行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。

需要鍍膜的樣品

1、電子束敏感的樣品:

主要包括生物樣品,塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料,那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下,用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護層的作用,防止此類損傷;

2、非導(dǎo)電的樣品:

由于樣品不導(dǎo)電,其表  面帶有電子陷阱",  這種表面上的電子積累  被稱為充電"。為了  消除荷電效應(yīng),可在樣  品表面鍍一層金屬導(dǎo)電  層,鍍層作為一個導(dǎo)電  通道,將充電電子從材  料表面轉(zhuǎn)移走,消除荷  電效應(yīng)。在掃描電鏡成  像時,濺射材料增加信  噪比,從而獲得更好的成像質(zhì)量。637852830951780038369.jpg

持久型小型濺射儀廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù);

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口




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