產(chǎn)品展示

TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀

【簡單介紹】

產(chǎn)品特點：儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。

【詳細說明】

產(chǎn)品特點：

儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。

儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。

規(guī)格與主要技術(shù)指標：

測量范圍：1nm-4000nm 測量zui小值：≤1nm 入射角：30°- 90°精度≤0.05°

度盤刻度：每格1度允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤18mm

偏振器方位角范圍：0°- 180° 外形尺寸：680＊390＊310mm

測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005

主機重量：26kg

儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）

光學(xué)中心高度：80mm 成套性：主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件

成套性：主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計算機）


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