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上海納騰儀器有限公司
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上海納騰儀器有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)YPL-NIL-SI400
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
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更新時(shí)間：2017-07-19 10:41:09瀏覽次數(shù)：411次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)Imprint Nano納米壓印
儀器簡(jiǎn)介：
納米壓印的技術(shù)與工藝特點(diǎn)，*性地設(shè)計(jì)和制備工作于低真空環(huán)境下，結(jié)合正負(fù)壓可控調(diào)節(jié)并利用壓縮空氣作為壓印驅(qū)動(dòng)力的，通過壓力傳導(dǎo)裝置、緩沖與勻壓、壓力調(diào)節(jié)控制裝置等手段實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)可靠可控的壓印過程，借助于多種靈活的自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的巧妙設(shè)計(jì)與運(yùn)用，實(shí)現(xiàn)壓印中的自動(dòng)找平調(diào)控，以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復(fù)制轉(zhuǎn)移。
技術(shù)參數(shù)：
YPL-NIL-SI400納米壓印系統(tǒng)：
溫度范圍從室溫到350攝氏度；
壓力范圍從0到20個(gè)PSI（在4英寸晶元上）；
紫外曝光系統(tǒng)；
真空范圍從1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓到0.1帕；
水冷系統(tǒng)；
樣品尺寸直徑zui大4英寸；
PLC遠(yuǎn)程控制，帶觸摸屏；
手動(dòng)裝載樣品和模板；
自帶機(jī)器控制軟件；
在軟件控制下可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)增加和釋放壓力；
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機(jī)。
YPL-NIL-SI400 NANOIMPRINT SYSTEM
*Thermal Imprinter
Temperature range of R.T. to 350℃
Pressure range of 0 to 20 atm
*UV exposure system
*Vacuum range of 1atm to 10-1 Pa
* Sealed Bellows
*Wafer/Mask Holders: maximum 4 inch dia. Samples: Smart Sample Holder for
irregular shaped samples and piece parts.
*Control electronics
*PLC control and Touch Screen
*Manual loading and unloading of wafers and masks
*Proprietary Machine Control Software
Including （A） SI400 nanoimprint system （B） training, Warranty, other, and （C） Options
主要特點(diǎn)：
該納米壓印機(jī)利用紫外曝光或者熱壓固化實(shí)現(xiàn)壓印圖案在壓印高分子膠層中的復(fù)制，并通過各項(xiàng)功能與過程參量的優(yōu)化與篩選，通過遠(yuǎn)程PLC控制系統(tǒng)結(jié)合觸摸屏單元，實(shí)現(xiàn)納米壓印全過程的實(shí)時(shí)監(jiān)控與全自動(dòng)化控制。
| 采購單位名稱 | 采購時(shí)間 | 采購臺(tái)數(shù) | 備注 |
| 南京大學(xué) | 2009-12-24 | 1 | 設(shè)備運(yùn)行近1年，情況良好。 |
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