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深圳市方達(dá)研磨技術(shù)有限公司

平面研磨機,平面拋光機,雙面研磨機

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13-6B適合拋光表面硬度比較高的工件 晶圓研磨機廠家

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  • 深圳市方達(dá)研磨技術(shù)有限公司
  • 2018-05-16 16:52:14
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【簡單介紹】

本設(shè)備主要用于藍(lán)寶石襯底、半導(dǎo)體硅片、陶瓷片、光學(xué)玻璃、石英晶體、其它材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時磨削及拋光。

【詳細(xì)說明】

研磨機是利用磨料對工件表面進(jìn)行碰撞、擠壓、研磨來完成工藝,從而實現(xiàn)光整工件的效果。精度和使用效果遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過傳統(tǒng)研磨的效率移動方便,快捷,提高工作效率,售后服務(wù)方面完善。  <a href="http://www.szfangda.cn/">晶圓研磨機</a> 

 

 主要用途:本設(shè)備主要用于藍(lán)寶石襯底、半導(dǎo)體硅片、陶瓷片、光學(xué)玻璃、石英晶體、其它材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時磨削及拋光。

工作原理:和特點

1、創(chuàng)新是設(shè)計的基本理念,本設(shè)備在設(shè)計時認(rèn)真分析和比較了國內(nèi)外同類設(shè)備的結(jié)構(gòu)、控制和功能特點,綜合、歸納并采用了眾多用戶的成功經(jīng)驗和合理建議。著力提高設(shè)備的技術(shù)含量、運行精度和運行平穩(wěn)性。

2、采用*的西門子產(chǎn)PLC程序控制器,控制整機的動作,自動化程度高,并由與之匹配的西門子Smart 700大屏幕觸摸屏作界面,顯示當(dāng)前整機狀態(tài),實現(xiàn)人機對話,操作一目了然。

3、采用變頻調(diào)速及全齒輪傳動,使整機工作時起動平穩(wěn)、運轉(zhuǎn)穩(wěn)定,尤其在低速運轉(zhuǎn)時,克服了上、下研磨盤的竄動、爬行現(xiàn)象。

4、采用亞德克生產(chǎn)的氣動執(zhí)行元件與SMC生產(chǎn)的氣動控制元件配套,實現(xiàn)研磨盤分輕壓、中壓、重壓、精研等四個階段的壓力無級調(diào)節(jié),為磨削工件提供更出色的研磨效率及更廣泛的磨削工藝選擇。

5、大齒圈可以升降,且升降位置可以調(diào)節(jié)。太陽輪的高度也可以通過定期增減墊片數(shù)量進(jìn)行調(diào)節(jié)。

6、減速機用杭州杰牌的,型號是150-20與075-30。

7、采用雙電機和雙變頻驅(qū)動;產(chǎn)地是無錫亨達(dá)高溫變頻電機。主電機(9KW/1440rpm)帶動上、下研磨盤和齒圈;用副電機(1.5KW/1440rpm)帶動太陽輪。副電機與主電機按比例同步調(diào)速。

8、配備有自動潤滑裝備,對齒輪進(jìn)行潤滑。

9、本設(shè)備可設(shè)定和存儲三十套不同的工藝參數(shù)(壓力、速度、時間、圈數(shù))供使用者選用。

10、配有主氣缸端鎖機構(gòu),可方便、安全鎖定上研磨盤。

 

 

主要技術(shù)參數(shù)

Main technical parameters

1)研磨盤規(guī)格:上盤Φ965×Φ395×45mm  下盤Φ965×Φ395×35mm 

   Grinding Pan Specification: Φ965×Φ395×35mm

2)行星輪規(guī)格:Dp12 Z=152 a=20° (外徑:Φ325.96)

   Planet Wheel Specification: Dp12 Z=152 a=20° (OD:Φ325.96)

3)放置行星輪個數(shù)n 3≤n≤6

   Number of planet wheel:n 3≤n≤6

4)研磨工件厚度:b 0.3mm≦b≦20mm

   Workpieces ideal Thickness:b 0.3mm≦b≦20mm

  1. 研磨工件理想規(guī)格: Φ125   zui大工件規(guī)格:對角線300mm

   Workpeces Ideal Dimension: Φ300

6)齒圈升降高度:35mm

   Geared Ring Moving Sphere:35mm

7)下研磨盤轉(zhuǎn)速: 0-50rpm

   Lower wheel speed:0-50rpm

8)主氣缸: Φ125×450mm

   Main ain cylinder: Φ125×450mm

9)升降氣缸: Φ80×250mm

   Moving air cylinder: 80×250mm

10)端鎖氣缸: Φ32×15mm

    Locking air cylinder: Φ32×15mm

11)主電機:YVP132M-4  9KW

    Main Motor: YVP132M-4  9KW

12)副電機: YVP90L-4  1.5KW

    Vice Motor:YVP90L-4  1.5KW

13)砂泵電機: AB-100  250W

    Sand Pump Motor:AB-100  250W

14)設(shè)備外形尺寸:1690×1340×2650mm

Machine Dimensions:1690×1340×2650mm

  1. 設(shè)備重量:方立柱2700kg/圓立柱3000Kg
    
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