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產(chǎn)品展示
TPY-1型橢圓偏振測厚儀
- 公司名稱：
- 更新時(shí)間：
- 所 在 地：
- 生產(chǎn)地址：
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- 杭州庫弘貿(mào)易有限公司
- 2022-10-21 16:32:04
- 杭州市
- 346
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
橢圓偏振測厚儀
產(chǎn)品說明：
在近代科學(xué)技術(shù)的許多領(lǐng)域中對各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此，更加精確和迅速的測定給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實(shí)際工作中可以利用各種傳統(tǒng)的方法測定光學(xué)參數(shù)，如：布儒斯特角法測介質(zhì)膜的折射率，干涉法測膜厚，其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度高、精度高、非破壞性測量等優(yōu)點(diǎn)，因而，橢圓偏振法測量已在光學(xué)、半導(dǎo)體、生物、醫(yī)學(xué)等諸多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
橢圓偏振測厚儀特點(diǎn)：
儀器采用消光法自動(dòng)測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點(diǎn)；
光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定、波長精度高；
儀器配有生成表、查表以及精確計(jì)算等軟件，方便用戶使用。
規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo)：
測量范圍：薄膜厚度范圍：1nm-300nm； 折射率范圍：1-10
測量zui小示值：≤1nm 入射光波長：632.8nm
光學(xué)中心高：80mm 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器方位角范圍：0°- 180°讀取分辨率為0.05°
測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：±1nm和±0.01
主機(jī)重量：25kg 入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍：20°- 90°精度為0.05°
成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng)、計(jì)算軟件
外形尺寸：680*390*320mm
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