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深圳市中圖儀器股份有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品: 激光干涉儀,測(cè)長(zhǎng)機(jī),測(cè)長(zhǎng)儀,輪廓測(cè)量?jī)x,壓力校驗(yàn)儀

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公司信息

聯(lián)人:
羅健
址:
深圳市南山區(qū)西麗學(xué)員達(dá)大道1001號(hào)南山智園B1棟2樓
編:
鋪:
http://sixdu.net/st52398/
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VT6100VT6000共聚焦顯微鏡
VT6000共聚焦顯微鏡
參考價(jià) 980000
訂貨量 1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) VT6100
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 深圳市

化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)采購(gòu)部電話:0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間:2023-02-08 11:50:32瀏覽次數(shù):246

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【簡(jiǎn)單介紹】
VT6000共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
【詳細(xì)說(shuō)明】

中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè),所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。



產(chǎn)品功能

1) 設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測(cè)量功能;

2)一體化操作的測(cè)量與分析軟件,操作無(wú)須進(jìn)行切換界面,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。

3)提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過(guò)濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4) 提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度分析包括依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測(cè)量和直線度、圓度形位公差評(píng)定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設(shè)置分析模板,結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能,可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。



技術(shù)指標(biāo)

型號(hào):VT6100

行程范圍:100*100*100mm

視場(chǎng)范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度測(cè)量重復(fù)性(1σ):12nm

高度測(cè)量精度:± (0.2+L/100) μm

高度測(cè)量分辨率:0.5nm


寬度測(cè)量重復(fù)性(1σ):40nm

寬度測(cè)量精度:± 2%

寬度測(cè)量分辨率:1nm


外形尺寸:520×380×600mm

儀器重量:50kg


激光共聚焦掃描顯微鏡,光學(xué)輪廓儀.jpg

高精度、高重復(fù)性

1)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,共同組成測(cè)量系統(tǒng),保證儀器的搞測(cè)量精度;

2)儀器的隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲,在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,具有良好的測(cè)量重復(fù)性。


VT6000共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。




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