S1000放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品用于掃描電鏡（包括電子探針等）儀器主要性能的校驗和檢驗，如圖像的放大倍率檢驗與調(diào)整、掃描圖像畸變的調(diào)整、像散調(diào)節(jié)以及樣品臺的復(fù)位檢驗等，是掃描電鏡儀器驗收、儀器年度檢驗、計量認證、實驗室認可等考核中需要的標(biāo)準(zhǔn)樣品。同時，該標(biāo)準(zhǔn)樣品也是掃描電鏡微米納米長度精確測量的標(biāo)準(zhǔn)樣品、是微米長度測量的高可溯源級別的量值傳遞工具。

詳細介紹

S1000放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品用途：

(1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品

(2)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗，是評價掃描電鏡圖像質(zhì)量的個重要工具

(3)可直接用于同一量級物體長度的精確比對測量

(4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗也有較好的作用

(5)利用標(biāo)樣上的“點子"圖像，可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復(fù)位檢驗

形狀、規(guī)格和包裝：

S1000微米一亞微米級系列標(biāo)樣，總體為5mm×5mm0.5mm(長×寬×厚)大小的小方塊。主體圖形為一個“回"字形的方框，最外框邊長約為2mm,內(nèi)框的邊長約為12mm,內(nèi)框里面用X、Y軸分為4個象限，X、Y軸上制作有垂直坐標(biāo)軸方向的線距20um的短平行線條，4個象限上分別是線距為40um、20um10um的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5um的X、Y雙向平行線條圖形，內(nèi)框的中部又是“回"字形的方框，大框的邊長約為160m,小框邊長約50um,大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5um的平行線條，小框里面是線距為1um或05um的X、Y雙向平行線條圖形(見圖1)，在5m和1um或05um的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整，不同的線距大小可用于從10×~10000放大倍率范圍的校準(zhǔn)，而把40um、20μm和10um的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計成方格形，是為了在對放大倍率進行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時，可以對圖像的畸變、像散等進行校驗，5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時具有X、Y兩個方向的平行線條，是為了方便同時對X、Y兩個方向進行放大倍的準(zhǔn)而不必機械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。

S1000放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品穩(wěn)定性：

標(biāo)準(zhǔn)樣品基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質(zhì)穩(wěn)定。在對標(biāo)準(zhǔn)樣品進行觀察時，可看到標(biāo)準(zhǔn)樣品具有良好的導(dǎo)電性，并且在掃描電鏡下所產(chǎn)生的圖形具有很好的對比度，在掃描電鏡下或光學(xué)顯微鏡下進行多次長時間的觀察后，未見標(biāo)準(zhǔn)樣品圖形或線距結(jié)構(gòu)發(fā)生變形或其他損壞，即標(biāo)準(zhǔn)樣品在電子束重復(fù)照射下是穩(wěn)定的。

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