化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)
詳細(xì)介紹
上海某大學(xué)研究中心采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 FRICP380 輔助制備三維原子探針樣品, 主要是對(duì)三維原子探針樣品進(jìn)行蝕刻, 使樣品變薄
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):
射頻離子源型號(hào) | RFICP380 |
Discharge 陽(yáng)極 | 射頻 RFICP |
離子束流 | >1500 mA |
離子動(dòng)能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 30 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 15-50 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長(zhǎng)度 | 39 cm |
直徑 | 59 cm |
中和器 | LFN 2000 |
運(yùn)行結(jié)果:
1. 采用 KRI 考夫曼射頻離子源 FRICP380可以克服鋯合金脆斷的問(wèn)題
2. 制備得到的樣品滿足了三維原子探針觀察樣品的要求
3. 可實(shí)現(xiàn)三維原子探針樣品的快速, 便捷, 高效制備
伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口品牌的代理商.
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 羅先生
化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)