等離子是物質(zhì)存在的除固態(tài)，液態(tài)，氣態(tài)之外的第四種狀態(tài)，具有宏觀度的電中性與高導(dǎo)電性。等離子體中含有大量活性電子，離子，激發(fā)態(tài)粒子和光子等。這些活性粒子和氣體分子碰撞的結(jié)果，產(chǎn)生大量的強(qiáng)氧化性自由基0，有機(jī)物分子被這些強(qiáng)氧化性的物質(zhì)所氧化，終降解為CO2和H2O。等離子廢氣凈化器的發(fā)生技術(shù)主要有：直流電暈放電法、脈沖電暈放電法、介質(zhì)阻擋放電、表面放電，目前常見的放電反應(yīng)器電暈放電和介質(zhì)阻擋放電的氣體壓強(qiáng)為105Pa，電場強(qiáng)度分別為5×104和102-105，等離子體的產(chǎn)生采用的都是高壓電場放電，對于一些易燃易爆廢氣的處理存在危險性。
低溫等離子體 ;是電子、化學(xué)、催化等綜合作用下的電化學(xué)過程，是依靠等離子體在瞬間產(chǎn)生的強(qiáng)大電場能量電離、裂解有害氣體的化學(xué)鍵能，從而破壞(vandalism)廢氣分子結(jié)構(gòu)，達(dá)到凈化目的。
低溫等離子廢氣凈化器能有效去除揮發(fā)性有機(jī)物（VOC）、無機(jī)物、硫化氫(化學(xué)式H?S)、氨氣(化學(xué)式NH3)、硫醇（chún）類等主要污染物，以及各種惡臭味，對于*彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內(nèi)即可祛除，并且具有強(qiáng)力殺滅空氣中細(xì)菌、病毒等各種微生物(Micro-Organism)能力，而且具有明顯的防霉作用。