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市場(chǎng)上精確度高的納米劃痕測(cè)試儀

NST³ 納米劃痕測(cè)試儀專門用于表征典型厚度小于 1000 nm 的薄膜和涂層的耐劃傷性能和結(jié)合力。NST³ 可用于分析有機(jī)和無機(jī)涂層以及軟硬涂層。納米劃痕測(cè)量頭采用*的設(shè)計(jì)，包括兩個(gè)傳感器，用于測(cè)量與*的壓電致動(dòng)器相關(guān)的壓入載荷和壓入位移測(cè)量。這些*的功能提供了快速的響應(yīng)時(shí)間（低至毫秒），出色的精確性以及針對(duì)各種劃痕測(cè)量的高度靈活性。

*同步的全景成像模式，隨時(shí)隨地進(jìn)行分析

該*功能可自動(dòng)將對(duì)焦的整個(gè)劃痕的全景圖像與所有傳感器的劃痕數(shù)據(jù)同步。因此，您可以隨時(shí)根據(jù)全景成像觀察結(jié)果和信號(hào)記錄執(zhí)行臨界載荷分析。安東帕是同步全景技術(shù)（美國(guó) 8261600 和歐洲 EP 2065695）的持有人。

快速反饋較小力

NST³ 采用雙懸臂梁來施加載荷，并配備壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，能夠?qū)κ┘拥妮d荷快速做出響應(yīng)。這一設(shè)計(jì)理念還修正了在劃痕過程中發(fā)生的任何情況（例如出現(xiàn)裂紋和失效、缺陷或樣品不平整）而導(dǎo)致的測(cè)量結(jié)果偏差。

沒有折扣：準(zhǔn)確施加所需的力

閉環(huán)主動(dòng)力反饋系統(tǒng)可提供更精確的納米劃痕測(cè)試。NST³ 包含一個(gè)實(shí)際力傳感器，可測(cè)量直接反饋給法向力驅(qū)動(dòng)器的載荷。這樣可確保劃痕測(cè)試的重復(fù)性，即使研究非平面、粗糙或曲面樣品等更加復(fù)雜的表面時(shí)，也是如此。

適用于彈性恢復(fù)研究的真實(shí)劃痕深度測(cè)量

NST³ 納米劃痕測(cè)試儀包括一個(gè)實(shí)際位移傳感器，用來監(jiān)控劃痕測(cè)試針尖的垂直運(yùn)動(dòng)。借助此傳感器，您可以利用前掃描和后掃描模式的*技術(shù)獲得劃痕真實(shí)的深度，從而評(píng)估材料的彈性、塑性和粘彈性。這種技術(shù)需要執(zhí)行前掃描，記錄執(zhí)行劃痕測(cè)試前樣品的表面特性（形狀、波度和粗糙度）。在測(cè)量劃痕期間（劃痕深度）和測(cè)量之后（殘留深度），NST³ 將使用該表面特性修正劃痕測(cè)試的深度。

劃痕后可進(jìn)行多次后掃描模式評(píng)估彈性性能

劃痕后，您可以在軟件中用時(shí)間增量定義無限次后掃描測(cè)量殘余深度。這種全新的分析方法將讓您進(jìn)一步了解表面變形性能與時(shí)間的依賴關(guān)系。

技術(shù)規(guī)格

載荷 [mN]	1000
載荷分辨率 [μN]	0.01
載荷背底噪聲 [rms] [μN]	0.1
加載速度 [N/min]	最多 100 種
摩擦力 [mN]	1000
摩擦力分辨率 [µN]	1
位移 [μm]	600
深度分辨率 [nm]	0.1
深度背底噪聲 [rms] [nm]	1.5
數(shù)據(jù)采集頻率 [kHz]	192
劃痕速度 [mm/min]	0.1 到 600