Nikon ARF浸入式光刻機 NSR-S630D進一步提高了NSR-S622D的精度和生產(chǎn)率，它采用了以高精度和生產(chǎn)率著稱的流線型平臺，適用于10納米范圍內(nèi)的工藝量產(chǎn)（多重圖案化*1適配）。它是一種開發(fā)設(shè)備。除了進一步提高在多重圖案化工藝中很重要的重疊精度外，還提高了產(chǎn)量。

ARF浸入式光刻機NSR-S630D通過提高投影鏡頭性能、使用光柵尺位置測量編碼器以及改進溫度空調(diào)系統(tǒng)，實現(xiàn)了更高的吞吐量以及MMO * 2的進一步改進。以2.5納米以下的MMO和每小時250張（96次）的吞吐量實現(xiàn)了的精度和生產(chǎn)率，有助于客戶設(shè)備生產(chǎn)線的穩(wěn)定量產(chǎn)。

Streamline 平臺的主要特點

1. 顯著提高疊加精度的測量系統(tǒng)：Bird's Eye Control

除了已經(jīng)采用的結(jié)合編碼器和干涉儀的混合系統(tǒng)用于晶圓載物臺位置測量外，還使用二維編碼器進行分劃板載物臺位置測量，以減少空氣波動對每個位置測量的影響舞臺... 結(jié)果，疊加精度得到了很大的提高。

2. 顯著提高吞吐量的新測量技術(shù)：Stream Alignment

五眼* 3的FIA（現(xiàn)場圖像對準）可在短時間內(nèi)進行對準測量。即使在測量靠近所有鏡頭的多個點時，也可以限度地減少吞吐量的下降。

• * 3FIA 5 眼型：對準顯微鏡已從傳統(tǒng)的 1 眼型更改為 5 眼型（5 單元型）。

3. 提高可維護性的新模塊化結(jié)構(gòu)：Modular 2 Structure

通過使設(shè)備配置成為分層模塊化結(jié)構(gòu)，客戶現(xiàn)場的啟動時間縮短了，零件更換變得更加容易。結(jié)果，可維護性得到了極大的提高。