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氣體質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）（Mass gas flow controller（meter））縮寫(xiě)為MFC(MFM)）是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。

S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))特點(diǎn)：

*采用主體不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON?、聚四氟乙烯等

*適用于各種腐蝕性氣體

*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn)

*高精度

*重復(fù)性好

*響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠

*低壓降

*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。

*操作使用方便，可任意位置安裝

*便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))主要應(yīng)用領(lǐng)域：

*半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制

*分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制

*各種形式的真空鍍膜設(shè)備

*環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備

*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測(cè)和控制

*特種材料表面處理裝置與燃燒控制

*混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測(cè)系統(tǒng)等

2．S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))型號(hào)

本產(chǎn)品采用中華人民共和國(guó)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件及命名方法。

質(zhì)量流量計(jì)主要精確測(cè)量氣體流量，質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能還具備自動(dòng)控制氣體流量的功能。

型式批準(zhǔn)證書(shū):2011F215-11

執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

許可證編號(hào)：京制01050063號(hào)

3．主要技術(shù)指標(biāo)

質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)L/min （升/分鐘） (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:溫度 --- 0℃

氣壓 — 101325 Pa

F.S (Full Scale):表示滿量程值

表1 S49 33M/MT型質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))技術(shù)指標(biāo)

編號(hào)	項(xiàng)目	S49 33/MT
1	流量規(guī)格	(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min		(15,20,30) L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止位置	常閉
4	準(zhǔn)確度	± 1.0% F.S	± 2.0% F.S
5	線性	±1.0 % F.S，±2.0 % F.S
6	重復(fù)精度	±0.2 %F.S
7	響應(yīng)時(shí)間	≤8 s（T95）
8	工作壓差范圍	(50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa
9	耐壓	3 MPa ﹑ 10 MPa
10	工作環(huán)境溫度	5℃ ～ 45℃
11	材料	不銹鋼316L
12	標(biāo)準(zhǔn)密封材料	Viton?﹑EPDM, 或其他
13	漏率	1×10-8 Pa.m3/s
14	接頭	Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它
15	輸入輸出信號(hào)	0 V ～ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
16	電源	+15 V 50 mA -15V 200 mA
17	外形尺寸 mm	134×134×38
18	重量 kg	1.2