準確成像, 無交叉耦合現(xiàn)象

業(yè)界*的XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨立的柔性制導掃描器控制移動

*低的平面偏移度，全程水平掃描時平面偏移量不超過1納米

垂直掃描器全程伸縮時，線性度優(yōu)于0.015%

優(yōu)化的水平掃描器ringing現(xiàn)象, 科學的正向sine-scan算法

準確掃描，真正的非接觸模式

業(yè)界*的垂直掃描器，帶寬超過9kHz，探針垂直伺服響應(yīng)速度超過62mm/sec

在非接觸模式下*快的掃描速度

極低的探針磨損，能夠保證長時間的高質(zhì)量掃描

極低的樣品損傷

準確測量，真正的樣品形貌

采用業(yè)界*的低噪聲遲滯檢測器測量樣品形貌

業(yè)界*的極小正反測量偏離量，小于0.15%

采用優(yōu)化的散熱部件，極大地降低了系統(tǒng)熱漂移和遲滯現(xiàn)象

功能強大的*隔音罩，艙體內(nèi)部主動控溫用戶工作效率

開放式的設(shè)計，方便更換探針和樣品

探針預定位裝夾設(shè)計，簡單便捷的測量激光調(diào)節(jié)過程，具有磚利的自上至下的直觀觀察系統(tǒng)

**的“十秒進針"功能，探針可自動高速完成進針操作

24位數(shù)字電控箱，三組內(nèi)置鎖存放大器，具備Q-control和彈性常數(shù)校準功能

技術(shù)參數(shù)

XY掃描器

閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器

掃描范圍: 50μm × 50 μm (可選 100μm × 100 μm)

分辨率:0.05 nm

定位檢測噪音: < 0.3 nm (帶寬: 1 kHz)

水平線性: < 2nm (over 40μm scan)

Z掃描器

柔性引導高力度掃描器

掃描范圍: 15μm (可選 30 μm)

分辨率:0.015 nm

定位檢測噪音: 0.03 nm (帶寬: 1 kHz)

共振頻率:> 9 kHz (typically 10.5 kHz)

表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)

光學系統(tǒng)

可觀察樣品和探針的直視同軸光學系統(tǒng)

視場: 480× 360 μm (10× objective lens)

CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

物鏡

10x (0.21 NA) 超長工作范圍的鏡頭(1 μm分辨率)

20x (0.42 NA) 高分辨率長工作范圍的鏡頭(0.6 μm分辨率)

信號處理

ADC: 18個通道
         4 個高速 ADC 通道 (50 MSPS)
         X,Y和Z掃描器定位傳感器的24-bit ADCs

DAC: 12 信道
         2 個高速 DAC 通道 (50 MSPS)
         X,Y和Z掃描器定位的20-bit DACs

*大數(shù)據(jù)大小: 4096 x 4096 像素

集成功能

3個通道數(shù)字鎖相放大器

熱噪聲法標定彈性系數(shù)

數(shù)碼Q控制

外部信號介入

20個嵌入式信號輸入/輸出端口

5個TTL輸出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias